中古 VARIAN EHP-500 #9215996 を販売中
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販売された
ID: 9215996
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Medium current ion implanter, 8"
Mirror 60 Kv PSu: E110002
Gas box configuration:
Gas box type: SDS
Gas line 1 = PH3
Gas line 2 = AsH3
Gas line 3 = BF3
Gas line 4 = Ar
Pumps configuration:
VARIAN V300HT Resolver turbo pump
Endstation CRYOPUMP CTI on-board 10
CTI 9600 Compressor
Loadlock turbo pump VARIAN V300HT
EBARA Endstation dry pump: 50 x 20
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Electrical facility requirements
208 V, 3 Phase, 5 wire 43.2 KVA 120 FLA
200A Main CB 42,000 AIC 60 Hz
75A Maximum single load
250kV Maximum beam energy
1998 vintage.
VARIAN EHP-500は高精度イオン注入器およびモニターです。このヘビーデューティ機器は、イオン源、高圧電源、抽出器、スキャン磁石、デフレクターアセンブリ、ファラデーカップ、ビームモニターを利用しています。イオン源は高エネルギーイオンを生成し、高電圧電源によって所望のエネルギーに加速されます。このエネルギーは、イオンビームを制御するために使用される磁気アセンブリである抽出器によって最適化されます。スキャン磁石はイオンビームの制御とスキャンに使用されるアセンブリであり、デフレクターアセンブリはイオンビームの軌道を形成するために使用されます。次に、ビームはファラデーカップを通過し、ビームの強度を測定します。最後に、イオンビームはビームモニターを通過し、ビームの電流、電圧、エネルギーに対するフィードバックを提供します。この装置は、イオンビームを制御、監視、形状化することができるため、高精度イオンインプラントおよびモニタリングに最適です。
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