中古 VARIAN EHP-500 #9181387 を販売中
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販売された
ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8"
E-Chuck
Main components:
End station module
Services module
PC / Monitor
LCD Monitor
Controllers
Vertical lift orienter
Vacuum gauge
Uniformity
Left elevator
DI Temp monitor
Terminal module
Remote PC and monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suspension PSU
Enclosure
Signal tower & HV
Exhaust leakage box
Signal tower cont box
End station services module controllers:
Left arm servo
Right arm servo
Vacuum gauge
Scan faraday
Platen tilt servo
Vertical lift orienter
Uniformity
Liner motor servo
Orienter
Left elevator
Right elevator
Dose intergator
DI Temp monitor
E Clamp PSU
UPS
Terminal PSU's and assy:
Faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 30kV
Set-up faraday pre amp
Vacuum gauge cont
Scan assy
Quad 1 mag PSU
Quad 2 mag PSU
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror 60kV PSU
Source mag PSU
Source head and gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
Make Model Description
EDWARDS 1003C Source turbo pump
VARIAN V300HT Resolve turbo pump
EDWARDS 1003C Beamline turbo pump
CTI On-Board 10 Endstation cryo pump
CTI 9600 Cryo compressor
VARIAN V300HT Load / L turbo pump
VARIAN V300HT Load / L cryo pump
EBARA 50X20 Endstation dry pump
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Additional parts / Spares:
CCTV: ESC Type
1998 vintage.
VARIAN EHP-500は、さまざまな材料やイオン種を幅広いパワーで処理するように設計された高度なイオン注入および監視装置です。このシステムは、マルチエネルギー、マルチイオン統合制御プラットフォームに基づいており、半導体デバイスの製造、ナノテクノロジー、物理蒸着、薄膜蒸着、イオンビームフィギュア、医療物理などの分野に最適です。このユニットの主な特徴は、高い注入精度、均一性制御、および低粒子汚染および散乱イベントです。VARIAN EHP500は、エネルギー、角度、パワーの広い範囲を与えることができる高精度のヘキサポレイオン源を使用しています。この機能により、ほぼゼロの非効率性と均一性を備えた正確なイオン注入が可能になります。また、高度な制御ツールを搭載しており、加速度ポテンシャル、ビーム強度、位置精度、ビーム集中などのパラメータを正確に制御できます。EHP 500はまた、統合されたビーム監視資産を備えており、プロセスの概要と制御を向上させます。ビームモニターは、ファラデーカップ、イオン化チャンバ、およびデジタルプローブの範囲を含むさまざまな検出器を使用します。このモデルはまた、特定のイオンの自動ビームブランキング、プロセスステップ開始、および自動無効化など、幅広いプログラム可能な機能を提供します。クリーンルーム、コントロールルーム、遠隔地など、余分なセキュリティが必要なさまざまな作業環境に設置できます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとEHP500の高度な診断により、研究および業界アプリケーションに最適です。VARIAN EHP 500は、深度プロファイリング、損傷評価、PID解析、ビームステアリングなどのより複雑な監視タスクを実行するためにも使用されます。これらのタスクは、自動モードまたはステップバイステップモードで実行でき、より良いプロセス制御と最適化のためのリアルタイムフィードバックを提供します。要約すると、EHP-500は高度なイオン注入およびモニタリングシステムであり、様々な材料やイオン種の高精度、均一でクリーンな注入を目的としています。このユニットは、高精度なヘキサポレイオン源、統合されたビーム監視機、および様々なプログラム可能な機能で構成されており、さまざまなアプリケーションに多大な柔軟性と高精度を提供します。
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