中古 VARIAN EHP-500 #9015612 を販売中

VARIAN EHP-500は、表面処理の広い範囲を生産し、制御することができるイオンインプランター&モニターであり、物理的な特性の範囲で材料を処理することができます。内蔵のグラファイトフォーカス、拡張深度電子ミニチュアイオン源、特許取得済みの絶縁イオン源シールド装置を備えています。VARIAN EHP500の強力なグラファイトフォーカスは、基板の近くと遠い表面に高い均質な電力密度を提供することができ、同等のシステムよりも高い精度と制御を提供します。さらに、拡張された深さのミニ電子イオン源は、より広範囲のエネルギーを使用し、浸透深度と均質性を高めることができます。特許取得済みの絶縁イオン源シールドシステムは、材料表面のより一貫した処理を提供し、精度と再現性をさらに向上させます。EHP 500には、ユーザーが基板処理から望ましい結果を達成するのを助けるさまざまなカスタマイズ可能なパラメータがあります。これには、スキャン周波数、振幅、スキャン速度、ドウェル時間などのスキャンパラメータのフルレンジが含まれ、トリムサイズ、焦点距離、ギャップタイム、ウェーハ時間などの調整可能なフィーチャーパラメータが含まれます。また、処理の進捗状況をリアルタイムで即時に把握できる強力なプロセスモニタを搭載し、必要に応じて修正や調整を行うことができます。EHP500にまた最高の生産性および人員保護を保障する複数の安全機能があります。電圧、負荷、異常電流が失われた場合に発生する過負荷保護ユニットを装備し、安全でない状態があれば自動的にシャットダウンします。さらに、デバイスのソフトウェアは継続的に監視され、ハードウェアの事故や誤動作が発生する前に検出されます。結論として、EHP-500は市場で入手可能な効率的で信頼性の高いイオンインプランター&モニターであり、ユーザーに精密で再現可能な表面処理と最大限の制御のための多数の調整可能なパラメータを提供します。パワフルなグラファイトフォーカス、拡張深度電子ミニイオン源、絶縁イオン源シールドマシンは、比類のない精度と汎用性を提供します。