中古 VARIAN E500 #9229634 を販売中

VARIAN E500は、高精度、高速、精度を提供する半導体業界で使用される汎用性の高いイオンインプラントおよびモニターです。イオンを0。1MeV〜90MeVのエネルギーで多種多様な基板に埋め込むことができます。VARIAN E 500は、高度なビームスキャン装置とインテリジェント光学技術を使用して、線量、均一性、および線量率の制御を強化します。この技術はまた、ホウ素、リン、ヒ素などのイオン種の使用を可能にします。E-500システムは使いやすく、エピタキシャルシリコン、基板活性化、シリシデーションなどの半導体デバイス製造における重要なプロセスのための信頼性の高いプラットフォームを提供します。E500イオン注入器とモニターは、多種多様な真空システムで効率的に動作するように設計されています。モジュラー設計により、選択したプロセスの要素を含む真空ユニットを選択できます。これにより、一貫したプロセス制御と精度が保証されます。また、E 500マシンはインテリジェントな真空技術をサポートしており、チャンバーの状態を継続的に監視し、超高圧に達する効率的な運転機能を提供します。VARIAN E-500には、高度な管理および制御ツールが含まれており、歩留まりの向上、信頼性の向上、プロセス制御の効率化を実現します。VARIAN E500はユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、ユーザーはプロセスレシピを迅速かつ正確に作成および変更できます。このアセットには、ユーザーがインプラントのレシピをすばやく視覚化および編集できる多目的グラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。このモデルにより、ユーザーはリアルタイムデータでインプラント結果を追跡および分析することもできます。さまざまなプロセス機能に加えて、VARIAN E 500には、発生する可能性のある問題を迅速にトラブルシューティングするための複数の内蔵診断ツールが含まれています。これらの診断ツールは、機器の問題や障害を迅速に特定し、迅速な整流または是正措置を可能にするように設計されています。全体として、E-500は信頼性が高く、堅牢なイオン注入器およびモニターであり、さまざまな基板にイオンやその他の材料を注入するための強化されたプロセス機能を提供します。システムは容易な操作のために設計され、正確な線量制御および均等性のための理性的な光学技術とともに信頼でき、正確な性能を、提供します。E500はまた、インテリジェントな監視と制御機能をサポートしており、ユーザーはインプラントのレシピを簡単に作成および変更し、リアルタイムでインプラントのパフォーマンスを監視し、潜在的な問題を迅速かつ効率的にトラブルシューティングすることができます。