中古 VARIAN E500 #293625917 を販売中

VARIAN E500は、半導体製造に使用される高精度イオンインプラントおよびモニターです。これは、10kWから30kWまでのビーム電力を備えたデュアルアクセラレータプロセスを備えています。加速された粒子ビームは電子的に調整され、信頼性が高く、各インプラントの線量、エネルギー、プロファイルを正確に制御することができます。この高度なイオンインプラントは汎用性が高く、ハイドーピングからサブ閾値インプラントまでのインプラントに使用できます。VARIAN E 500には、信頼性の高いビームモニターと現場診断機能が搭載されており、ユーザーが機器から最適なパフォーマンスを得るのに役立ちます。ハードウェアの面では、E-500はステンレス鋼から構築されたフルバキュームチャンバーを備えた真空タイトシステムです。上部ユニットには、イオン源、抽出アセンブリ、および高精度のクワッド軸モジュレータが含まれています。この変調器は、ビームが正確に集中して指示されるようにするために不可欠です。下部はサンプルステージの位置で、XYモーションテーブルを使用してサンプルの正確な位置決めを可能にします。また、サンプルチャンバーに入るイオンビームを制御するスキャナーアセンブリも備えています。このスキャンアセンブリには、ビームを偏向させるために最大4つの電気偏向コイルがあり、サブミクロン分解能までの精度を可能にします。さらに、VARIAN E-500には実験的な制御サブシステムがあり、自動化されたパラメータ設定、プロファイル最適化、およびデータ取得を提供します。ソフトウェア側では、このツールは、信頼性の高いパフォーマンスを保証するMicrosoft Windowsベースのオペレーティングアセットを実行しています。このソフトウェアは、ビームをパラメーター化してチャンバーの状態を監視する機能を備え、セットアップの柔軟性をユーザーに提供します。また、各インプラントの投与量とエネルギーを示すデータ分析機能も備えています。安全面では、水冷イオン源を搭載し、装置内のイオンの蓄積を防ぎ、E 500の安全運転を確保しています。結論として、E500は強力で信頼性の高いイオンインプランターとモニターであり、最も要求の厳しいものでも処理できます。正確なビーム制御、現場診断、自動化されたデータ収集を提供し、ユーザーはインプラント処理を最適化することができます。機器とソフトウェアの組み合わせにより、ユーザーはシステムから最適なパフォーマンスを得ることができ、安全で効率的です。