中古 VARIAN E500 HP #9230820 を販売中

VARIAN E500 HPはハイエンドイオン注入器およびモニターです。これは、電子部品の製造のための半導体材料へのイオンの埋め込みおよび/または監視に使用されます。VARIAN E500HPは、100kVエネルギー分解能の形で高性能精度を提供し、線量率出力の信頼性の高い安定化とともに、優れた着床プロセスを可能にします。内蔵のHPモニターはまた、線量率、エネルギー拡散、生成イオンのスペキュラリティなど、着床プロセスにプラスの影響を与えるパラメータの分析と追跡を提供します。E-500HPは、ユーザーにさまざまなオプションを提供し、ユーザーは特定のニーズを満たすために機器を調整することができます。統合された自動化された制御システムは、ユーザーが極端な動作条件でも、最も最適なインプラント・パラメータを達成するためにユニットをカスタマイズすることができます。このマシンは、学習しやすく直感的なグラフィックス駆動のユーザーインターフェイスツールと直感的なツリービューデータ表示を提供し、より効果的な植え込み解析を可能にします。VARIAN E 500 HPは、1軸、2軸、4軸ビーム源など、インプラント制御に最適なビーム源を選択できます。高度な熱管理技術は、ユーザーが一貫したビーム電力レベルを確保しながら、制御ビーム源の可能性を最大化するのに役立ちます。オプションのパーティクルトランスポートツールは、半導体部品の高スループット生産のための信頼性と再現性の高い歩留まりを提供します。また、業界標準に準拠したインプラントの改善も可能です。E 500 HPには、全自動の現場エンドポイント検出アセットが装備されています。このモデルは、高い精度でインプラント工程の終わりを検出するように設計されています。この機器は、VARIAN E-500 HPで埋め込まれたすべてのコンポーネントが、最高品質と信頼性の基準で一貫して提供されることを保証します。ユニット自体の高性能に加えて、ユーザーは生産性を最大化するように設計されたアクセサリーの範囲を利用することもできます。これには、ウェーハの自動ロードとアンロードのためのウェーハハンドリングロボットが含まれ、スループットを向上させ、ウェーハの手動ハンドリングを排除します。その他のアクセサリには、チャンバー内にウェーハを正確に配置するための治具や、適切なプロセス実行を保証するためのロックシステムがあります。E500HPは、高度なイオン注入システムをユーザーに提供します。使いやすいインターフェイス、直感的なツリーディスプレイ、自動制御、信頼性の高い現場エンドポイント検出により、このユニットは、高精度イオン注入とモニタリングの費用対効果と信頼性の高い方法を提供します。VARIAN E-500HPは、幅広いアクセサリーと組み合わせて、最適な着床プロセスを保証する幅広いオプションを提供します。