中古 VARIAN E500 HP #9220342 を販売中

VARIAN E500 HPは、VARIAN Semiconductor Equipment Group、 Inc。によって設計および製造されたイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、集積回路の設計と製造に使用されます。イオンをウェーハに埋め込むための高信頼性・高効率・高精度なユニットです。VARIAN E500HPは、低エネルギーインプラントと中エネルギーインプラントの両方に使用できる汎用性の高いマシンです。このツールには、イオン生成およびイオンビーム解析用の低電力イオン源が含まれています。また、グラフィカルユーザーインターフェイス、高速応答ビーム制御モデル、高解像度デジタルカメラ、コンパクトビームモニター、強力なオーバーヘッド機器スキャナなど、いくつかの高度なコンポーネントを備えています。グラフィカルユーザーインターフェイスは、ビームパラメータとウェーハの向きを直接制御するだけでなく、複数の層イオン注入を提供します。イオンビームは、システムに入ると電流分布に変換され、これはビーム制御ユニットで達成されます。このマシンは、リアルタイムの監視と制御を提供しながら、正確で均一な電流分布を確保するための動的制御機能を備えています。さらに、デジタルカメラはビームプロファイルと電流分布をリアルタイムで可視化し、精密なインプラントを提供します。コンパクトビームモニターは、信頼性の高いデータ収集と監視を提供し、プロセス監視の改善と均一性の高い精度を可能にします。このツールには、超高速スキャンとパターニングによるノンストップ操作のためのオーバーヘッドウェーハスキャナも装備されています。また、E-500HPは幅広い材料や埋め込み条件で動作するように設計されており、さまざまな埋め込みアプリケーションに最適です。VARIAN E-500HPの特徴の組合せはそれを製造業のための貴重な用具にします。これは、一貫した予測可能で再現性のある結果を提供します。これは、チップの成功と経済的な生産に不可欠です。この資産は、層の形でさまざまな種類の材料を生産するだけでなく、粒子や汚染を浄化するためにも使用できます。さらに、スパッタ損傷を最小限に抑えるように設計されており、高エネルギーイオンへの長期曝露による基板への損傷を引き起こす可能性があります。全体として、E500 HPは高度で効率的な装置であり、様々な用途に適したイオンの正確な埋め込みとモニタリングを提供します。これは、優れた制御と均一性を提供しながら、生産の時間とコストを大幅に削減するために、革新的な機能とコンポーネントで設計されています。