中古 VARIAN E500 HP #9142688 を販売中

VARIAN E500 HPは、イオンを注入するための優れた精度と均一性を提供するように設計された高性能イオンインプラントおよびモニターです。この埋め込み技術は、幅広い半導体およびディスプレイ技術の製造に使用されています。この機器には、インテル64ビットアーキテクチャや最新の制御システムなどの高度な機能が搭載されています。VARIAN E500HPは、10nAから5mAまでの幅広い電流レベルをウェーハに提供することができます。これにより、システムは特定の埋め込みニーズに合わせて調整することができます。このインプランターの高精度は、優れたビーム電流安定性によるものです。この安定性により、ビーム電流を時間内に細かく正確に制御し、電流のばらつきを最小限に抑え、より均一な最終結果をもたらします。メーカーの16ビット解像度と相まって、E-500HPはそのレベルのイオン注入で優れた精度を提供します。この精度は、10チャンネルのアナログ/デジタルコンバータを使用してナノ秒のタイムスケールでビーム電流を測定することができるため、非常に正確な読み取りが可能になるなど、さまざまな機能を備えています。E-500 HPは、注入プロセス全体でマシンを監視することもでき、ユーザーは特定の要件を満たすためにイオン注入パラメータを調整することができます。これは、ツールメモリパラメータにアクセスし、同じユーザーインターフェイスから資産を監視する機能を含む、多くの高度な実装によって達成されます。これにより、ユーザーは移植プロセス中にさまざまな設定を表示および調整することができます。VARIAN E-500HPは、ユーザーの安全と保護を強化するための専用システムと機能を備えた安全のためにも設計されています。これには、安全インターロックの包括的なセットが含まれており、安全でない場合に機器にアクセスできなくなります。E500HPはまた、埋め込みプロセス内の周囲温度を監視する温度センサーで設計されており、温度が安全レベルを超えると自動的にシャットダウンします。E500 HPインプランターは、正確で正確なイオン注入を提供することができる強力で信頼性の高いモデルです。高精度のビーム電流安定性、16ビット分解能、高度な監視機能などの機能を備えており、すべてが最適なパフォーマンスと安全性を保証します。