中古 VARIAN E500 HP #9142684 を販売中

VARIAN E500 HPは、幅広い半導体および関連産業向けに設計された高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。システムの高度なイオン注入技術は、高性能ビーム制御ユニットを使用して、イオンビームの位置と方向を正確に監視し、より高速で高精度な注入を実現します。このビーム制御機には、注入プロセスの品質と精度を向上させるビームチューニング機能も装備されています。VARIAN E500HPは、コンパクトで汎用性の高いデザインの工業用グレードのインプランターです。フルレンジと狭いレンジオンインプラントの両方の機能を備えているため、インプラント種の線量、分布、および浸透を制御することができます。さらに、このツールは簡単なインストールとメンテナンス、コスト、人件費、ダウンタイムを削減するために設計されています。また、高解像度のモニターを搭載しているため、正確なチャンバーでマッチングと適切な線量測定速度の調整を監視できます。さらに、移植可能な種と運動エネルギーの高度なビーム制御を提供し、精度と精度を向上させます。また、このモニターは不正イオンを拒絶するように設計されており、寿命にわたって一貫した性能を確保しています。イオン注入器モデルE-500HP、オプションの統合ドーピング制御装置も備えています。このシステムを使用すると、インプラントの着床前と着床後のドーピングレベルを監視および調整できます。これにより、ドーピング濃度の均一性が向上し、歩留まりの最適化が容易になり、寿命の信頼性が向上します。このユニットには、より正確で再現性の高いクローズドループ式ガス搬送機も装備されています。このツールは、乱れや温度の影響を最小限に抑えることで、資産の埋め込み精度をさらに向上させます。クローズドループのガス供給は、高価な移植後のチャンバー洗浄の必要性を減らします。稼働時間、生産性、信頼性を最大化するために、E500HPは高度な診断および監視機能も備えています。統合診断を使用して、潜在的な問題をユーザーに通知し、問題のトラブルシューティングに役立つ詳細情報を提供します。さらに、このモデルには堅牢な遠隔監視ソリューションがあり、ユーザーは機器にリモートからアクセスできるため、システムに物理的にアクセスすることなく、問題のトラブルシューティングが容易になります。全体として、VARIAN E-500HPは、半導体業界で最高レベルの性能と信頼性を提供する高度なイオンインプラントおよびモニターユニットです。包括的な機能により、イオンビームを正確に監視および制御し、より高い精度と歩留まりの最適化を実現します。機械はまた取付け、維持し易く、ダウンタイムおよび人件費をかなり減らします。