中古 VARIAN E500 EHPI #293801765 を販売中

VARIAN E500 EHPIは、半導体基板への荷電粒子の制御と埋め込みに使用されるイオンインプラントおよびモニターです。インプランターは、半導体製造および包装、航空宇宙および防衛、通信、自動車、医療機器製造など、さまざまな業界で使用されています。E500 EHPIは、基板に荷電粒子を埋め込むために直流（DC）イオン源を利用しています。イオン注入器は、最小10kVから最大100kVまで、幅広いエネルギーを供給することができます。さらに、精密なビーム制御が可能で、最大10ミクロン（1/100ミリメートル）の精度が得られます。VARIAN E500 EHPIの電気部品は交換可能なモジュラーハウジングに囲まれており、メンテナンス、修理、サービスを簡単かつ簡単に行います。全自動化された装置には、ガイドリール、ヒーターセンサー、プロトン検出器、温度モニター、電子後方散乱検出器など、さまざまな機械およびデジタル部品が付属しています。E500 EHPIは、直感的なプログラミングと表示メニューで、シンプルで操作しやすいように設計されています。VARIAN E500 EHPIは、ビーム電流モニタやパーティクルソースモニタなど、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアオプションで構成できます。これにより、さまざまな材料を異なる厚みの基板に埋め込むなどの用途に最適です。また、粒子スペクトルの収集も可能であり、さらなる解析にも利用できる。安全性は、周辺灯と非常停止スイッチE500備えたEHPIの重要な要素であり、チャンバードアが開いているときにユニットが動作するのを防ぐ連結チャンバードアです。また、真空漏れ検出器、放射シールド、イオンビームモニターを搭載しています。VARIAN E500 EHPIは、RFおよびESD放射線安全基準を含むすべての必要な安全規制に準拠しています。結論として、E500 EHPIは信頼性が高く、強力なイオン注入器およびモニターです。それはハードウェアおよびソフトウェアオプションの広い範囲と形成することができ、作動することは簡単、容易です。さらに、いくつかの安全機能を備えているため、幅広い用途に対応できます。