中古 VARIAN E500 EHP #293791986 を販売中

VARIAN E500 EHPは、今日のハイテク産業における半導体およびマイクロエレクトロニクスメーカーの要求を満たすように特別に設計されたイオンインプラントおよびモニターです。VARIAN E500EHPは、特許取得済みのVARIAN ProSource™技術を搭載した完全自動装置で、最適なビーム品質と線量制御を可能にします。E500-EHPは、135-kV最大加速電圧、12-keVビームエネルギー、および1。5アンペア最大ビーム電流を備えており、より高いイオン注入率、ビーム均一性、および線量精度を達成します。さらに、システムには、特許取得済みのビーム位置とアライメントシステムと、優れたビーム安定性を提供する堅牢なチャンバー圧力制御が含まれています。EHP E500また、移植プロセス中に正確かつ正確なビームスポット位置制御のためのオープンループステッピングモータードライブを備えた高度な6軸ガントリーを備えています。さらに、質量電流検出器、ビーム位置およびフォーカスモニター、ビーム光学パフォーマンスモニターからデータを収集するための高度で信頼性の高いイオンビーム監視機を備えており、包括的かつ包括的なインプラント監視プロセスを可能にします。安全性と信頼性の観点から、VARIAN E500-EHPは、国際標準化機構（ISO）が定める安全および環境基準に準拠するように設計されています。費用対効果の面では、このツールは高速処理速度と低い埋め込みコストを備えているため、製造業者はより高い歩留まりを達成し、総所有コストを削減することができます。さらに、この資産には、お客様からのお問い合わせに対応し、タイムリーな技術支援を提供するための最高の独立したサポートとカスタマーサービスも含まれています。E500EHPは、信頼性と信頼性の高いイオンインプラントとモニターで、優れた性能を提供し、メーカーが最適なコストでニーズと要求を満たすことができます。