中古 VARIAN E220HP #9237387 を販売中
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販売された
ID: 9237387
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Ion implanter, 8"
Main components:
End station module
Terminal module
Services module
PC & Monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suppession PSU
Decel PSU
Enclosure
Signal tower & HV lights
Signal tower controller box
Exhaust leakage box
No remote PC & monitor
End station services module:
Right arm servo controller
Vacuum gauge controller
Scanning faraday controller
Platen tilt servo controller
Uniformity controller
Liner motor servo controller
Orienter controller
Left elevator controller
Right elevator controller
E-Chuck clamp PSU
Dose integrator controller
D.I. Temp monitor
Vertical lift orienter
No electric flood controller
No UPS
Terminal PSU & Assy:
Set-up faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 20Kv
Set-up faraday pre-amp
Vacuum gauge controller
Scan assy
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror PSU: 30 Kv
Source mag PSU
No 30 Kv scan generator
No Mirror 60 Kv PSU
Source head & gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
No vaporizer
No vaporizer PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000C Source turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-300 Resolve turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000 End station cryo pump
CTI 250F Load / R cryo pump
CTI 4F Load / L cryo pump
CTI 4F Beam-line turbo pump
1995 vintage.
VARIAN E220HPは、高精度のインプラントおよびプロセス制御アプリケーション用に設計されたイオンインプラントおよびモニターです。高線量レート、正確なビームパラメータ、ソース位置精度、ビーム均一性の制御など、いくつかの分野で優れた性能を提供します。VARIAN E220 HPは、最大80μA/cm2の高用量率を提供するように設計されています。イオンソースは、1。2〜3。2mmの間で変更できる調整可能なスポットサイズを備えています。ビームの均一性は、結果の精度と信頼性を高める正確なビームパラメータを提供します。ビームと強度プロファイルの正確な位置決めのために、高感度の位置フィードバック装置が含まれています。モニターには、ビームの均一性とプロファイルパラメータの両方を測定および制御する自動化された2ステップのモニターが含まれています。このモニターは、異なる堆積要件を満たすように調整することができ、ビームの再現性を0。5％ ±に維持します。また、ユーザーはプロファイルをプリセットすることができ、その高度な制御設定は、粒子濃度と均一性を向上させることができます。E 220 HPはまた、技術の向上と安全に校正することができるプロセス制御システムを持っています。このユニットは、インプラント操作ごとにプロセスデータを常にキャプチャして保存し、正確さとトレーサビリティを保証します。このデータにアクセスしてプロセスの不一致を調査したり、重要なプロセス制御ドキュメントを提供したりすることができます。高度な制御機能とは別に、E220HPには複数の安全対策がインストールされています。それにオペレータおよび周囲の環境のための最適保護を保障するポンプ、ファン、またはエネルギーモニター警報のような警報機能の広い範囲があります。要約すると、E220 HPは高度で信頼性の高いイオンインプランターであり、ユーザーに優れたパフォーマンスを提供します。一貫して高い線量率、正確なビームパラメータ、ビームの正確な位置決め、高度なプロセスコントロールマシンは、VARIAN E 220 HPをインプラントおよびプロセス制御アプリケーションに最適な選択肢とする重要な機能です。
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