中古 VARIAN E220HP #9237131 を販売中
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販売された
ID: 9237131
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Ion implanter, 8"
Terminal module / Gas cabinet:
Gas cylinder volume: 4 ltrs
No Ar (External / Internal)
AsH3 Cylinder type: High pressure
PH3 Cylinder type: SDS 2.25L
BF3 Cylinder type: High pressure 1L
Gas line purge
No dual vaporizer option
M-Chuck
Terminal module / Source:
Source head type: Bernus
Source bushing type: EHP
No source magnet polarity switch
No 2 steps reducer type option
Terminal module / Beam-line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
Automatic graded decel relay & P/S
No hall probe option
Beam energy probe option
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat & tilt type
Travel faraday type: TVL Faraday
No metal contamination reduction kit option
CVCF
Enclosure:
No video viewing of wafer loading
No three light signal tower
Smoke detectors
No water leak detectors
No service monitor
Accessories:
Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C
Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Source rough pump type: EBARA 40x20
No beam line booster pump
Stage pump type: EBARA 50x20
L/L Pump type: EBARA A30W
Target cryo pump type: CTI-250
Load lock pump type: AISHIN GD263
Cryo compressor type: SUZUKI C300
Remote PD
Option: Beam drift monitor
System PC: 1 GHz
Spare parts:
Ion source head
Terminal insulator
1994 vintage.
VARIAN E220HP endstationは最先端のイオン注入器およびモニターです。これは、最大ビーム電流とエネルギー安定性を提供するように設計された前進装置です。システムのこの多目的な作業場には、インプラントの深さ、スキュー、均一性を埋め込み、監視するための最先端の技術が装備されています。このユニットは、エネルギー効率が高く、高出力のデュアルビームアクセラレータを搭載しており、単一または複数のビームモードで動作できます。これにより、アプリケーションごとに柔軟性が向上し、インプラントおよび線量制御の制御が強化されます。また、加速器からの放射を低減するように設計された堅牢なシールドアセンブリも装備されています。このツールの機能は、作業環境が安全に保たれ、生成されたインプラントの品質が可能な限り最高品質であることを保証します。インプラントのプロファイルを監視するために、アセットには高精度のビームチューニングモデルが装備されており、ビーム位置と線量分布を正確に制御できます。モニタリング装置は、インプラントの非均一性を測定することもできます。これには、非均一性の領域をすばやく特定し、問題を解決するソリューションを提供できるソフトウェアが含まれています。このシステムには、プロセスをさらに微調整し、インプラントが最高品質で信頼性の高いものであることを保証するために使用できるさまざまな診断ツールも含まれています。このユニットにはユーザーフレンドリーなインターフェースが付属しているため、オペレータはインプラント全体を簡単に管理できます。そのグラフィカルユーザーインターフェイスは簡単なナビゲーションを可能にし、必要なすべての設定は数回クリックするだけで管理できます。これにより、インプラント全体のプロセスがより効率的になり、プロセスを完了するのに必要な時間が短縮されます。VARIAN E220 HPも最大限の機械稼働時間と信頼性を提供するように設計されています。それは問題になる前に問題を検出し、オペレータに警告することができる自己監視ツールを備えています。また、自動化されたメンテナンスプロトコルとユーザー定義のメンテナンスルーチンも備えており、常に効率的かつ効果的に稼働し続けることができます。E 220 HPは、高性能イオンインプランターとモニターを探しているメーカーに最適な資産です。最先端の機能、堅牢なシールドアセンブリ、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、効率と信頼性の両方で可能な限り最高品質のインプラントを提供します。
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