中古 VARIAN E220HP #9222331 を販売中
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ID: 9222331
ウェーハサイズ: 6"
Medium current ion implanter, 6"
(2) Stage EBARA dry pumps
EBARA E/S Rough dry pump
EBARA Source roughing dry pump
Compressor: CTI-8500 / SUZUKI C300
He line: 15M
Target cryo: CT-8F
Load lock pump: SUZUKI Baby Cryo
Source Pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Aperture pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Scanner pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Vacuum system Gauge: CCIG
Cooling system: Ground & terminal water pump
Power system:
UPS
Wafer handler system
Hand off type: Standard
Handler motor
Platen (Mechanical)
Roplat head
Roplat cable
Tilter assy P/N
Linear motor servo controller
Platen tilter servo controller
Rotating platen / Scanfara controller
Ropins motor
Scan field forcer
Heat exchange
Orienter motor (Belt type)
Orienter sensor (Lamp)
Orienter controller
Orienter lifter controller
Right elevator controller
Left elevator controller
Mapping sensor
Cassette / Tilt sensor
Service monitor
Gas supply system:
Gas bottle type: High pressure
(3) Gas bottle
Gas box type: HP
Beam generation / Source:
Ion source: E11030996 Bernas
Arc PS
Filament PS
Extraction PS: 40 kV
Extraction suppression PS
AMU Power supply
Lens power supply
E220 Source bushing
2 Step reducer
Beam generation / Beam-line
Trek amplifier: 20 KV
Acceleration PS: 180 KV
Acceleration suppression PS
Acceleration column
Mirror PS
Decel PS
PCB Scan generator
Scan generator controller
Beam measurement & scan check:
Uniformity controller
Dose integrator control
Beam purity check
Faraday
No Accel / Decel switch hardware
Quality kit: E220 Energy probe
Automation: Host.
VARIAN E220HPは、半導体製造に使用されるイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、220シリーズのインプラントからのアップグレードであり、材料改質とドーパント埋め込みのためのより大きなビームのイオンを提供します。このインプランターは非常に強力な制御ユニットを備えており、ビームとそのパラメータを正確に制御できます。このマシンには、フィーダー検出、インプランターモータの過負荷、および過圧検出器など、いくつかの安全システムも装備されています。VARIAN E220 HPを使用する主な利点は、材料変更プロセス中の高精度と精度です。このツールは、金属、半導体、プラスチックなど、さまざまな材料に対応することができます。アセットの制御モデルは、限られたビームサイズとフラックス密度を維持しながら、正確かつ一貫した注入用量を適用するように設計されています。さらに、この装置は、材料の変更に応じて、20keVから6000keVまでのイオンエネルギーを達成することができます。E 220 HPには、システムメンテナンスと問題の診断を容易にするいくつかの機能も装備されています。このユニットには、他のイオンインプラントに必要なインターロックを排除する継続的に監視された動き検出機が装備されています。また、タッチスクリーンモニターと包括的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。このGUIは、資産パフォーマンスの監視からエラーまで、すべてのツール診断のリアルタイムのフィードバックを提供します。全体として、VARIAN E 220 HPは非常に強力で精密なイオンインプランターおよびモニターモデルであり、正確で一貫した材料変更のためにさまざまな材料を処理することができます。装置の安全機能、動き検出システム、および包括的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、半導体製造に最適です。
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