中古 VARIAN E22000022 #200565 を販売中

VARIAN E22000022は、多くの半導体製造プロセス向けに設計された高度なイオンインプラントおよびモニタです。電子アプリケーション用のデバイスの高効率ドーピングと活性化を提供し、プロセスをリアルタイムで綿密に監視できます。オプションのガンマ線ラインモニターを備えたエンドオブランのブロードキャストアレイを備えた3軸16-MeV最小エネルギーのヘビーイオン注入器をE22000022します。クリーンな環境を保ちながら、ウェーハの積み下ろしを高速化する自動ローディングシステムとウェーハ真空ヒーターを搭載しています。また、高精度の電源を搭載しており、基板抵抗の変化を正確に追跡し、高精度のインプラントを確保します。さらに、高度で高精度なプロファイルモニターにより、インプラント工程のリアルタイム監視が可能です。マシンの実行ブロードキャストアレイの終わりは、濃度、活性化ゾーン、しきい値などの基板の特性を詳細に分析することができます。また、統合フォルト保護と、操作パラメータを監視し、オペレータに潜在的な問題を警告する自己診断システムが内蔵されています。VARIAN E22000022は、非常に低温で動作することも可能で、優れた再現性を備えた超薄型層の埋め込みが可能です。E22000022は汎用性が高く、効率的で信頼性の高いイオンインプランターとモニターです。これは、半導体製造工場にとって貴重な資産となる多くの洗練された機能を提供します。VARIAN E22000022は、高精度制御、高度なモニタリングシステム、およびエンドオブランブロードキャストアレイにより、高度な電子部品を製造するための最高のツールの1つです。