中古 VARIAN E220 #9272647 を販売中

VARIAN E220イオンインプランターとモニターは、半導体ウェーハへのドーパントの埋め込みを監視するために設計された高精度で最先端のツールです。このマシンは、費用対効果が高く堅牢でありながら、望ましい基板に均一な速度と深さでドーパントを正確に監視およびインプラントするように設計されています。VARIAN E-220には調整可能なイオン加速度と減速度があり、より正確なインプラントやモニターに最適な用量均一性をユーザーに提供します。最大16個のウェーハを同時に解析することが可能で、最大200mAの注入電流と直径4mmまでの可変ビームスポットサイズの調整可能なイオンインプランタービームを備えています。E 220には、ウェハの配置と向きの正確さを保証するサンプルトラッカーとテーブル供給システムもあります。また、正確な注入のための高度な放射フィードバックシステムを備えています。VARIAN E 220は、試料位置におけるイオンビーム電流と減速を制御することにより、注入深度を最適化するための統合されたOn-Cell Implanter （OCI）を備えています。このOCIは、ウェーハ全体に均一なドーピング濃度と線量プロファイルを提供することが証明されています。このマシンにはOCIモニターも搭載しており、2パルス周期でイオン注入をリアルタイムで監視することができます。イオン注入器とモニターE-220、リソースを最適に使用してエネルギー効率が高いように設計されています。in-situモニタリングとインプランタビーム電流制御を利用することで、プロセス制御の改善と生産歩留まりの向上を実現します。E220のデータ収集および分析機能は、再現性を向上させ、生産コストを削減するために使用できる貴重なデータも提供します。