中古 VARIAN E220 #9270111 を販売中

VARIAN E220は、半導体産業で使用するために設計されたイオンインプラントおよびモニタリングシステムです。このデバイスは、トランジスタ、ダイオード、集積回路などのデバイスを製造するためのイオン注入および排水監視を提供することができます。VARIAN E-220は、非常に高精度の高エネルギーイオンの強いビームから3世代のイオンフラックス分布を提供することができます。これにより、単一のウェーハを埋め込むコストが劇的に削減されるため、大幅な節約が可能になります。E 220は、ビーム分散を低減した可変ビームスプレッドを備えており、高用量率を実現し、プログラマブルなパターンシフト、最適化されたビーム最適化因子、競争力のあるインプラント・システムよりも高い均一性を備えています。VARIAN E 220は、柔軟性と信頼性を最大限に高めるように設計されており、さまざまなインプラントや複数の基板に対応できます。公称動作エネルギー範囲は0。1〜250 keVで、最大ビーム電流範囲は0。1〜10 µAです。これらの設定により、オペレータは業界で達成可能な最高精度のイオンインプラントにアクセスできます。E220には、排水モニタリングのフルスイートも含まれており、プロセス関連の排気要件を制御および遵守できます。オンボードコントロールモニタシステムを通じて、ユーザーは真空ポンプ、ガスの流れ、圧力、ロードロックチャンバー、RFジェネレータ、および診断ツールを監視することができ、必要に応じて変化を処理するための迅速かつ正確な反応を可能にします。E-220はイオン注入および排水の監視のための費用効果が大きく、信頼できる選択です。その機能と動作モードの範囲は、最も複雑な半導体製造プロセスで繁栄することを可能にします。低ビーム発散、高用量率、高精度イオンインプラントにより、VARIAN E220信頼性と効率的なインプラントを必要とするあらゆる組織に最適な選択肢です。