中古 VARIAN E220 #9257302 を販売中

VARIAN E220は、VARIAN Semiconductor Equipment Groupが製造する高度なイオンインプラントおよびモニターです。VARIAN E-220は、生産性の向上とコスト削減を目的に設計されており、半導体チップメーカーが高性能で低消費電力のデバイスを迅速に製造することができます。E 220インプラントとモニターは、比較的コンパクトでありながら、低ノイズレベルと均一性を備えた高品質の高精度インプラントを備えています。VARIAN E 220は、2つの独立した駆動システム、完全二重イオン源と高電流電子源を備えており、最適な性能を実現しています。この技術により、イオンと電子ビームの両方をチップに埋め込むことができます。さらに、E220は使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを利用しており、インプラント条件を正確かつリアルタイムに監視できます。E-220は、ビーム電流範囲を最大25mA、電圧範囲を最大950V、エネルギー範囲を最大25keVにし、より高い範囲のイオン種を提供することを可能にします。また、3電極構成、蒸着モニター、最大8レベルの基板保護を備えた傾斜可能な自動基板マスカーも備えています。これにより、過浸透のないイオンと電子の正確な配信が可能になります。VARIAN E220には高度なプログラマブルデリバリーシステムが装備されており、ビーム電流の合計、パルス間のタイミング、および配信される総量など、さまざまな変数を制御することができます。また、自動化されたプラズマクリーナーと事前にプログラムされたルーチンが含まれているため、スループット率が向上し、生産性が向上します。さらに、VARIAN E-220は、摩耗の可能性のある領域を特定し、異常な動作条件を早期に警告し、信頼性と稼働時間を向上させるために設計された予測メンテナンスシステムを備えています。E 220は、高品質のデバイスを必要とする生産環境に最適な、信頼性と精度の高いイオンインプラントおよびモニタです。VARIAN E 220は、自動化された操作と手動操作の両方、そして洗練された安全および制御システムを備え、さまざまな半導体チップメーカーに究極の精度と効率を提供します。