中古 VARIAN E220 #9247393 を販売中

VARIAN E220
ID: 9247393
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1998
Medium current ion implanter, 6" 1998 vintage.
VARIAN E220は、汎用性の高い高性能イオンインプランターとモニターです。粒子加速のために設計されたVARIAN E-220は、優れた耐久性、優れた精度、および高スループットを提供するために、多くの先進技術を組み合わせています。E 220は、高効率RFプラズマ源を備えており、一貫した高エネルギーのアルゴンまたは窒素ビームを提供し、汚染された表面の精製に最適です。単一種または多種のインプラントを製造することができ、精度とプロセス全体の予測可能性が向上します。オンボードのレーザー支援イオン抽出装置は、粒子ビームの正確な制御を提供し、インプラントの正確なサイト固有の制御を可能にします。E220はまた、着床プロセスから着床後の期間まで、プロセス全体を通してさまざまなカスタマイズ可能なオプションを提供します。オンボードコンピュータ制御の高電流イオンモニターにより、インプラント効率の正確な制御と測定を可能にし、リアルタイムデータフィードバックを提供します。E-220の他の特徴は、そのユニークなインプラントエネルギー範囲と移植中の不純物を除去するのに役立つ高度なシールドシステムを含みます。VARIAN E 220はまた、低温冷却ユニット、高度なパワーマネージメントマシン、移植時の消費電力を削減する省エネ機能など、多くの省エネ機能を提供しています。VARIAN E220は、今日の産業用途の厳しい要求を満たすように設計された、非常に信頼性の高い高性能インプラントです。インストール、使用、メンテナンスが簡単で、メンテナンスに簡単にアクセスできます。さらに、高度なコンピューター制御とオンボード診断により、高スループット、高精度、および費用対効果の高いインプランテーションプロセスに最適です。
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