中古 VARIAN E220 #9237371 を販売中

VARIAN E220は、電気特性を変化させるために、荷電粒子の領域を半導体材料に正確に堆積させるように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。イオン注入器は非常に汎用性が高く、産業用および研究用の様々な用途に使用できます。VARIAN E-220の主なメカニズムはイオン源であり、ガスまたは固体源からの荷電粒子の安定した流れを生成するために使用されます。このイオンビームは、ビーム粒子の強度とエネルギーを決定する一連の磁気レンズとパルス電源によって制御され加速されます。このビームは、ターゲット材料または基板に向けられ、その結果、ターゲット材料に正または負の荷電粒子を正確に堆積させます。E 220は、埋め込み条件が一貫して正確であることを保証するための高度な監視および制御システムを多数備えています。これには、ビーム電流の変動を補償するための補償システム、サンプル領域をスキャンして表面プロファイルを測定するためのスキャン検出器、ビーム強度とエネルギーレベルを設定するための制御システムが含まれます。その他の機能として、ビーム内の粒子を監視するためのin-situ解析システム、および動作パラメータとデータロギングを制御するための中央処理ユニット（CPU）があります。VARIAN E 220は、イオンを基板に埋め込むための高効率で信頼性の高いツールです。高精度のインプラントを製造することができ、ドーピング、活性化、薄膜の受動化など、さまざまな半導体プロセスに使用できます。モニタリングシステムは、用量、エネルギー、スポットサイズなどのインプラントのパラメータをより大きな制御し、一貫した高品質の結果を保証します。使いやすさと機能の範囲は、E220は産業や学術的プロセスのための理想的な選択肢になります。