中古 VARIAN E220 #9069279 を販売中

VARIAN E220は、ウェーハや基板用のさまざまなインプラント・プロファイルを作成するための高精度イオン注入を提供するイオン注入装置およびモニター装置です。VARIAN E-220は、一貫した信頼性の高い性能を提供するように設計されており、幅広いウエハサイズと基板を扱うことができます。このシステムは、長寿命の六塩化ランタン（LaB6）銃からなるイオン源を備えています。この銃は真空チャンバーで吊り下げられ、コンピュータ制御の電源とグリッド調整器で操作され、最適なイオン注入条件を実現します。このユニットには、インターロック、圧力センサ、デジタル電流計などのイオン注入監視および制御コンポーネントも含まれており、正確で再現性のある注入を保証します。E 220は注入された線量率および分析のサイズの精密な制御を可能にし、効率的で、正確な注入を保証します。この機械は、0。0005インチから0。8インチの厚さまでの埋め込みプロファイルを適用できる最大10の独立したチャンバーを可能にします。VARIAN E 220は、イオン種の注入と抽出の両方に高電圧精密装置を使用しているため、高いイオン均一性と非常に低いイオン注入エネルギー拡散が得られます。E220には、緊急時のチャンバー圧力の低下、停電時の緊急停止、ドアや窓の誤った開閉を検出するチャンバーインターロックなど、多くの安全インターロックもあります。この資産には、オペレータに存在する危険な空気中の汚染物質に警告するための粒子検出器もあります。このモデルは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、ステータスアラーム、電流アラーム、エンドオブランアラーム、チャンバーアラーム、機器の故障アラーム、シーケンスアラームなど、ユーザーの利便性と保護のための幅広いアラームを提供します。これらのアラームはすべて、安全で成功した着床プロセスを確実にするのに役立ちます。E-220は、優れたユーザーフレンドリー性と安全性を提供しながら、制御と精度の優れたレベルを提供します。このシステムは、精密で再現性のある埋め込みを提供し、幅広いウエハサイズと基板を処理することができます。このユニットは、長寿命コンポーネント、正確な埋め込み制御、および多数の安全インターロックを提供することもできます。これにより、信頼性の高い安全なインプランタマシンがユーザーに提供されます。