中古 VARIAN E220 / E500 #293767838 を販売中
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ID: 293767838
Part number / Description
E15000201 / Motion controller board
E15001670 / PCB, Gas flow control
D-E15001650 / PCB 24 Digital output
E15001660 / Gas flow control PWR/BTL Pressure
E15002350, D-E150023, E15002363 / PCB Sub power supply controller
104434001 / PCB Gauss meter
E11000022 / Suppression power supply
E11001000 / Right ARM Servo controller
E11001000 / Left ARM Servo controller
E11038040 / Dual vaporize power supply
E15002350, D-E150023, E15002363 / PCB Subassy power supply controller
E17136530, E17094450 / Source housing
E19003380 / TREK E-clamp supply
E11001410 / Oriental controller
E11033360 / Gas box chassis
E11037750 / Manipulator for old gear type
E11037754 / Manipulator for new gear type
E11030500, E11120770 / Roplat drive assembly (ESC type)
E11050502 / Rotate sensor roplat cable
E11004140 / 60 KV Mirror power supply.
VARIAN E220およびE500 Ion Implanter&Monitorシステムは、幅広い基板材料に高品質の端末インプラントを提供するための先進的なツールです。これらのシステムは機能と機能の組み合わせを提供し、幅広いインプラント用途に最適です。このE220は、DCモードとパルスモードの両方で終端的にきれいで高精度なイオン注入を提供するように設計されています。あらゆる形状の回路に高精度イオンを供給することができます。統合されたI/O装置を使用して、プロセスパラメータを絶対制御し、再現性の高いインプラント・プロファイルを提供するためのインプラント・プロセスを制御および監視できます。このE500により、リソグラフィー工程に高精度に埋め込むことができます。このシステムは、0。1micronの精度でイオンを供給することができます。さまざまな電流値とDPA（ドーピングパラメータ）を処理するように設定できます。E500の高度なI/Oユニットは、着床プロセスの完全な監視と制御を可能にします。この機能により、移植プロセスが再現性と信頼性が保証されます。E220とE500の機能に加えて、各マシンはイオンソースシェルフ、サンプルローダー、イオンモニターなどの幅広いアクセサリーを提供しています。イオンモニターにより、線量、エネルギー、種および角度情報をリアルタイムで分析できます。サンプルローダーにより、基板を簡単かつ正確にツールにロードできます。これらのすべての機能により、E220とE500は複雑なプロセスに重要な基板を精密に埋め込むための完璧なツールとなります。最後に、VARIAN最先端のサービスネットワークは、対面およびリモートアシスタンスで世界中のサービスを提供します。これにより、VARIANのお客様は、利用可能な最高品質のインプラント技術とサポートにアクセスできるようになります。E220とE500システムの高度な機能、幅広いアクセサリ、そして比類のないカスタマーサポートの組み合わせにより、高度なインプラント用途に最適です。
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