中古 VARIAN E19013590 #9070880 を販売中

VARIAN E19013590は、半導体デバイスの製造に使用されるイオンインプラントおよびモニターです。高精度で信頼性の高い性能と低コストのため、半導体業界で広く使用されています。これは、高い深度制御でドーパントをインプラントする能力で知られています。E19013590装置は、イオン注入器、ビーム減速機、モニターチャンバー、マニピュレーターのセットで構成されています。イオン注入器は、高電流、低エネルギー、可変エネルギーイオン注入器です。数百のアングストロームから数千のアングストロームまで、調節可能な深さでドーパントを埋め込むことができます。ビーム減速器はイオンインプランターからのイオンを減速するために使用され、より印象的な制御がより低いエネルギーでも利用可能になります。モニターチャンバーにより、運転中に条件付きイオンを測定できるため、必要に応じてプロセス条件を調整できます。VARIAN E19013590には、着床時にウェーハを正確に制御できる精密マニピュレーターが付属しています。また、追加の保護と位置精度を提供するためのオプションの静電チャックを備えています。このシステムは、均一な線量分布と優れた深度制御を提供することができます。線量率は0。5から50 dpa/sまで及ぶ調節可能です。このユニットには、幅広い真空および安全インターロック、および高度な診断モニタリングマシンが装備されています。それは潜在的な危険が識別され、避けることができるように、ツール内のすべてのコンポーネントを常に監視することができます。さらに、このアセットには、さまざまなソース、シャッター、電極アセンブリなどのさまざまなアクセサリーが付属しています。また、接続されたガス源に直接インタフェースを提供し、迅速なソース変更を可能にします。モデルは、コンピュータを介してすべての必要な調整を行うと、リモートで調整することができます。全体として、イオン注入器とモニターE19013590正確で信頼性が高く、経済的な半導体デバイス製造を提供します。さまざまな安全インターロックと診断モニタリングが装備されており、洗練されたアクセサリーはインプラントのための強力なツールとなっています。