中古 VARIAN E19002442-2 #140342 を販売中

VARIAN E19002442-2は、高精度で精度の高いインプラントやその他の関連プロセスを実行することができる最先端のイオンインプラントおよびモニタシステムです。これは、ソース注入器、ソース抽出器、粒子ビームモニター、基板ホルダー、肘チャンバー、低エネルギービーム輸送、ビームステップモニター、エネルギーセレクターで構成されています。ソースインジェクタは、ビームにイオンを注入するために使用されます。フィラメントと電極で構成されています。フィラメントは、正イオンを生成し、ビーム強度を変化させるように調整することができる電極にそれらを指示するために使用されます。ソース抽出器は、ビームからイオンを正確に抽出し、不要な粒子をフィルタリングするのに役立ちます。粒子ビームモニターはイオンを所望の位置に向け、基板ホルダーは着床時に基板を適切な位置に保持します。エルボチャンバーはシステムのメインチャンバーであり、高いビーム電流を維持しながらビームを正確に操作できる回転可能なチャンバーを備えています。低エネルギービーム輸送は、発生のビーム角度と角度を直接および制御するために調整することができるビーム輸送システムです。エネルギーセレクターは、移植されたイオンのエネルギーを正確に設定するために使用されるエネルギーキャリブレーターです。最後に、ビームステップモニターを使用して、イオン注入の線量沈着率を測定します。これらのコンポーネントはすべて、イオンインプランターを完全に制御するために中央コントロールパネルに接続されています。E19002442-2は、低エネルギーレベルから高エネルギーレベル、低用量から高用量、および低温から高温まで、さまざまな着床プロセスに最適です。それは信頼でき、使いやすく、効率的で、精密なイオン注入のための完全な選択のために作ります。