中古 VARIAN E19001300 #158850 を販売中

VARIAN E19001300は、半導体デバイス製造用に設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。イオンビームの重いドーピングを可能にするために、最大20kVのインプラント・エネルギーと最大6。5mAの電流容量を生成することができます。このイオン注入器とモニターは、優れた性能と制御を提供し、セットアップ時間を短縮して、デバイスの歩留まりと性能の向上に貢献する均一なドーパント層を処理します。E19001300は、幅広いビームエネルギー、電流レベル、角度スプレッドを備えた高品質で均一なイオン注入用に設計されています。デジタル信号により、ビームパラメータのネイティブ制御が可能になり、制御されていない高エネルギービームによる損傷を最小限に抑えます。この装置には、イオンビームをリアルタイムで監視するために有効にすることができるアンビルトインバイザーが装備されており、サンプル表面を完全に表示しながら、プロセス結果を犠牲にすることなく最適なビーム制御を維持することができます。VARIAN E19001300は、イオン注入機能に加えて、さまざまな種類の化学分析およびプロセス特性評価もサポートしています。これらの機能には、移植されたサンプルの高度な断面解析、プロセス理解を向上させるための要素マッピング、および時間の経過とともにプロセスの再現性を向上させるための自動化されたプロセス監視が含まれます。これらの機能を通じて、システムは、原子レベルで重要なデバイス特性を明らかにするために、完全なトップダウンと断面の両方のマルチプレックスデータセットを生成することができます。E19001300は、使いやすいユーザーインターフェイスとプロセス制御ソフトウェアも提供しています。このユニットには、サブルーチンの堅牢なライブラリが含まれており、ユーザーは時間を節約するために注入レシピとパラメータをすばやく呼び出すことができます。既存の生産ラインでの効率的な統合を容易にするために、機械には統合された安全ツール、リモートコントロール操作、資産自己診断が含まれています。結論として、VARIAN E19001300は、デバイス生産に最適な品質とスループットを確保するために設計された信頼性の高い強力なイオンインプラントおよびモニターです。ビームパラメータの高精度制御、自動化されたプロセス監視、使いやすさのための堅牢なユーザーインターフェイスを提供します。このモデルは信頼性が高く、信頼性の高い結果を提供するため、効率的なデバイス製造に最適です。