中古 VARIAN E11114360 #144136 を販売中
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ID: 144136
Process module controller
DELTA TUA axis interface boards
High-resolution A-D converter
8/16 A/D input
Other boards.
VARIAN E11114360は、プロセスの信頼性と歩留まりを向上させるために設計された高性能イオンインプラントおよびモニターです。汎用性の高い汎用機器で、さまざまな高度なアプリケーションに適しており、毎日の生産に最適です。E11114360は、調整可能なエネルギーと電流設定を備えた完全に統合されたビームラインシステムを備えており、正確で正確な着床を可能にします。ユニットには洗練されたソース汚染制御および汚染保護システムが装備されており、機械を危険な粒子やガスから安全に保ちます。高精度のガスタイトウェーハトランスポートツールを追加することで、プロセスの信頼性とスループットがさらに向上します。ビームライン資産には、高性能のデジタルスキャンモデルと強力なビームプロファイル監視技術が搭載されており、ビームラインをナビゲートし、埋め込み条件を迅速に変更します。この高度なスキャン装置により、オペレータはプロセスに対するリアルタイムのフィードバックを得ることができ、精度、効率、歩留まりを向上させます。VARIAN E11114360には、デジタルビーム形状最適化技術も組み込まれており、ユーザーはビームの形状を調整し、注入を特定の要件に合わせて調整することができます。この革新により、埋め込まれた粒子がウェーハ全体に均質に分布し、プロセスの精度と歩留まりが向上します。このシステムは、最新のWindowsベースのコントロールインターフェイスによって制御され、E11114360操作が簡単になります。このインターフェイスは直感的な機能と制御を備えているため、オペレータは設定をすばやく調整し、着床プロセスを監視することができます。さらに、ユニットの高度なインテリジェンス、制御および診断機能は、広範なプログラミングの柔軟性を提供し、オペレータが広範なデータにアクセスしてプロセスを分析できるようにします。VARIAN E11114360は、高度な技術、精度、効率、信頼性を組み合わせて歩留まりを向上させる印象的なイオン注入およびモニタリングマシンです。包括的な設計により、さまざまな高精度インプラント用途に最適なツールです。
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