中古 VARIAN E11081190 #9107061 を販売中

VARIAN E11081190は、半導体製造プロセスで使用されるイオンインプラントおよびモニターです。分析ツールとして機能し、電子デバイスで使用される部品の製造に使用されるドーパントイオンの正確かつ再現可能な用量を提供します。E11081190は、電流デバイスの広い範囲に必要なドーパントイオンを正確に制御し、提供するイオン源を備えています。内部ソースは、加熱タングステンフィラメント、抽出システム、およびイオン化効率を最大化する静的イオンで構成されています。イオンビームは、高電流密度を維持するためにマルチアパーチャーシステムを介して最大100keVのエネルギーに加速され、ビームの拡散を低減します。イオンビーム電流密度は、最大1mAの電流を測定できるファラデーカップを介して監視されます。電流応答とドリフト補正は、ビームエネルギーとイオンインプランターの電流を自動調整して、イオンの所定の用量を維持し、同時にビームエンベロープを調整します。VARIAN E11081190には、イオンビームを集中的に正確に整列およびスキャンする自動整列機能があり、着床の精度を向上させます。この機能は、複雑な電子部品の製造において高精度を実現するために不可欠です。E11081190には、ユーザー制御とデータの保存のための統合されたコンピュータシステムもあります。ドウェル時間やビームピッチなどのインプランタパラメータを任意の場所からインプル監視および調整できます。その強力なソフトウェアにより、ユーザーはプロセスレシピの表示、分析、修正、応答曲線の管理または硬化、および迅速なビーム調整を可能にします。これは、イオンの正しい投与量が正確に配信されることを保証します。VARIAN E11081190は、ナノ秒スケールの判定において、再現性、正確性、信頼性の高い結果を提供し、ダウンタイムを削減し、効果的で高精度な移植プロセスを可能にします。また、デバイスやコンポーネントにおいて高いレベルの品質と完全性が維持され、最終製品の性能と機能が保証されます。