中古 VARIAN E11077380 #9216111 を販売中

VARIAN E11077380は、VARIAN Semiconductor Equipmentによって設計および製造された電子イオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、電子ブレーキと質量分析ユニットを統合した反応チャンバを使用して、射影強度とエネルギー分布を正確かつ正確に制御します。E11077380イオンインプランターは、半導体デバイスの製造に使用される表面ドーピング層と関連構造を作成するプロセスであるイオン注入に使用するために設計されています。このプロセスでは、VARIAN E11077380マシンは、材料表面の砲撃のためのビーム強度とエネルギー分布を正確かつ正確に制御することができ、高精度で技術的に高度な回路を作成することができます。E11077380ツールには、ビームエネルギーの拡散、強度、スポットサイズの正確な制御を保証するために設計された統合されたエレクトロニクスが装備されており、さまざまな放射線および基板パラメータ下での材料の衝撃のユニークな均一性を提供します。本資産の統合されたEPS （Energy Power Supply）は、100 eVから30 kVの間で調整可能なエネルギー範囲を提供します。これにより、インプラントとエッチングの両方のアプリケーションのための非常に効率的なレベルの制御を提供します。VARIAN E11077380には、インピングイオンビームの不可欠なプロファイルを監視するための統合ビームモニターモデルも装備されています。この装置は、砲撃プロファイルの均一性を定期的にフィードバックし、定期的かつ自動化された校正作業を可能にします。さらに、モニターは、ユーザーが全体の爆撃プロセスの強度、エネルギー拡散と均一性を確認することができます。E11077380はモジュラーシステムであり、材料の埋め込みとエッチングにおいて高いレベルの柔軟性と汎用性を可能にします。ディープシリコンドーピングに適した高エネルギーバージョン、中深度ドーピングに適した中間エネルギーバージョン、表面エッチング用に設計された低エネルギーバージョンなど、特定のプロセスとアプリケーションに合わせた3つの構成で提供されます。また、高電圧スイッチングを高速かつ効率的にする60kW高速高電圧パルサーメイキングも装備されています。全体として、VARIAN E11077380は、半導体業界の精密インプラントおよびエッチング用途に最適化された最先端のイオンインプラントおよびモニタツールです。高効率エネルギーおよび高電圧パルサーと組み合わされた統合されたエレクトロニクスおよび制御機能は、材料および回路の高効率で再現性の高い埋め込みのための正確で正確な動作を提供します。