中古 VARIAN E11034134 #9230309 を販売中

VARIAN E11034134は、イオンを基材に輸送するために使用されるイオンインプラントおよびモニターです。マシンは、完全な機器を作成するために一緒に動作するいくつかのコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントには、イオン源、イオンビームライン、一次および二次加速システム、エネルギーおよびビーム電流コントローラ、ビーム光学、ビーム輸送システム、診断および測定装置、およびエンドステーションが含まれます。イオン源は、イオンビームを生成し、輸送するために使用されます。イオンビーム発生器、イオンガイド、抽出システムで構成されています。イオンビーム発生器は、イオン蒸着チャンバなどのガス充填エンクロージャまたは高エネルギー電子を持つ固体ターゲット材料を爆撃することによってイオンビームを生成します。この電子の爆撃は、ビームに抽出され集中するイオンを生成します。イオンビームラインは、イオンビームを収集し、輸送するために使用されます。ビームの特性を監視するためのビーム診断システムだけでなく、ビームを制御し、指示する一連の磁石で構成されています。次に、一次加速システムと二次加速システムを使用して、ビームを所望の電圧とエネルギーにまで引き上げます。エネルギーとビーム電流コントローラは、イオンビームのエネルギーと電流レベルを維持するためにも使用されます。その後、ビーム光学部品を使用して、基材上のイオンビームの形状、サイズ、位置を制御します。これはフォーカスとデフォーカスのアプローチを調整することによって達成されます。ビーム形状とサイズが設定されると、ビーム輸送システムはビームをイオン源からエンドステーションに移動します。ビーム輸送システムは、さまざまなイオン光学部品と、イオンビームがユニットから脱出できない真空システムで構成されています。診断および測定装置は、ビームの電圧、電流、エネルギー、位置などの特性を測定するために使用されます。最後に、エンドステーションは、ビームが基板材料に集中している場所であり、閉じ込めと操作を可能にします。全体的E11034134、イオン注入器とモニタルマシンは、イオン注入のための完全なパッケージです。これは、任意の特定の基材のための任意の望ましいエネルギー、電流、および電圧のイオンビームを生成し、輸送することができます。このツールには、移植プロセスの精密制御と最適化を可能にするさまざまな診断および監視コンポーネントも装備されています。この資産は、業界や学術研究で広く使用されています。