中古 VARIAN E11034134 #9107001 を販売中

VARIAN E11034134は、VARIAN Corporationが開発したイオンインプラントおよびモニターのE1103シリーズの一部です。このモデルは、高性能を提供するように設計された専用の1.5Kwイオンソースイオン注入器およびモニターであり、大容量の半導体製造プロセスにおいて比類のない信頼性を提供します。E11034134は、真空中の全身フィードスルー設計と二段シャッタリング真空ロックを実装しています。さらに、このモデルは、最高レベルの安全性と清潔さを提供しながら、マシン本体にコントロールキャビネットを完全に統合します。VARIAN E11034134には、VARIANプラズマ改善プログラムとスマートソース技術を組み込んだ1。5kWプラズマソースが搭載されています。プラズマソースには、最大の性能と再現性を実現するさまざまな調整可能なパラメータが含まれています。さらに、イオン注入器とモニターは、運転中に中和電流を必要とせず、自動起動システムを備えています。この機械は、主に集積回路の製造を可能にするために、半導体基板にイオンを埋め込むために使用されます。注入プロセスは、半導体部品の種類や使用される製造技術によって異なります。機械はまた作り付けの調理法システム、自動開始、高度の診断制御、安全連結、プロセス制御のフィードバックおよび性能の監視用具のような自動化された制御特徴が、装備されています。また、運転中の故障や故障を防止するため、冷却とパージを強化しています。E11034134は、大量の半導体メーカーにとって理想的なイオンインプラントおよびモニターです。この機械は、経済的で効率的な高性能で信頼性の高い設計を提供します。さらに、このマシンは、自動化された効率的なプロセスフローを可能にする多数の制御機能と最大の再現性を提供します。安全面では、操作中にすべての部品がインプランター内で安全であることを確認するために、機械は二段シャッタリング真空ロックを採用しています。さらに、VARIAN E11034134はUL、 CE、 RoHS認証を取得しており、半導体製造において信頼性が高く、かつ高性能な機械となっています。