中古 VARIAN E11001051 #293671683 を販売中

VARIAN E11001051は、洗練されたインプラントおよび処理アプリケーション用に設計されたハイエンドイオンインプラントおよびモニターです。大容量イオンソースを搭載し、シングルシフトで1時間あたり最大350ウェーハを処理する能力を備えています。イオンを埋め込むことができる25 kWの粒子ビームが含まれています。ただし、ウエハサイズは6インチに制限されています。モニターは、移植されたイオンを正確に測定し、より良いプロセス制御を可能にする詳細な分析を行うことができます。E11001051は、ウェーハへのソース・ツー・ウェーハ処理装置を備えており、ウェーハを損傷することなく安全に輸送および処理するように特別に設計されています。また、洗練されたビームステアリングシステムを備えており、ウェーハの表面積よりも高い面積に正確に埋め込むことができます。さらに、イオン注入パラメータをリアルタイムで監視するための独自の超高解像度ビームモニターを搭載しています。これにより、リアルタイムのフィードバックとデータを提供することで、より正確な埋め込みが可能になります。また、このモニターはプロセス結果を解釈しやすい形式で表示し、異なる処理実行の結果を比較するために使用できます。さらに、VARIAN E11001051はユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、オペレータがインプランターとやり取りしたり制御したりするのが簡単です。このインターフェースにより、インプランターの効率的なセットアップと操作が可能になり、オペレータのダウンタイムと頭痛を軽減します。さらに、同じウェーハの複数の異なる層にわたって同じインプラントを可能にする自動層認識が付属しています。最後に、このマシンには過熱や電圧制御などの安全機能が内蔵されているほか、緊急時のシャットオフも含まれています。これにより、インプランターは安全で信頼性の高い方法で動作することが保証されます。全体として、E11001051は正確で一貫したイオン注入を必要とするあらゆるアプリケーションに理想的な選択肢です。