中古 VARIAN E11001040 #9211648 を販売中

VARIAN E11001040は最先端のイオン注入器およびモニターで、半導体ウェーハの加工に優れた高精度イオンビーム技術を提供します。これは、市場で最も先進的なインプラントの1つであり、優れた精度と信頼性を備えています。高性能な動作をサポートするために、このデバイスにはいくつかの最先端のコンポーネントが含まれています。高エネルギービームラインは、望ましいイオンを埋め込むための最適なビームエネルギー供給を保証します。電動ステップスキャンシステムは、均一なインプラントを確保するために最適化されたトランセプトの正確な再現可能なスキャンを可能にします。さらに、移植されたビームは、デフレクターとスリットを使用して指示することができます。このデバイスは、半導体材料の浅い接合部などの広域および局所インプラントに適しています。さらに、このデバイスは、線量を最適化するためのコンピュータ制御プロセッサを備えています。コントローラは、プロセスサイクル中に線量を制御するための調整可能なパラメータの数を提供しています。また、ウェーハ単位でプロセス結果を評価するためにも使用できます。さらに、オペレータは、ビーム電流、エネルギー、スキャン速度などのパラメータをリアルタイムで調整できます。これにより、プロセスの迅速な最適化と生産歩留まりの改善が可能になります。モニタリングのために、E11001040は市場で最も先進的なエンドポイント検出システムの1つを含んでいます。このシステムは、正確で信頼性の高いエンドポイント検出を提供し、サイクル全体にわたって正確なインプラントを確保します。さらに、このデバイスには、質量分析、赤外線および可視光分光法、ビームファン解析などの複数のチャンバー診断が含まれています。これらの診断は、必要に応じて直ちにフィードバックして、インプラントのプロセスを正確に監視することができます。これらの機能を組み合わせることで、廃棄物を最小限に抑え、効率を最大限に高めることができます。高度なコンピューター制御と診断により、インプラントのプロセスを正確に制御することができ、欠陥のない均一な製品が得られます。さらに、高品質のコンポーネントと信頼性の高い設計により、長期的でトラブルのないパフォーマンスを提供し、長期的に時間とコストを節約できます。