中古 VARIAN E11000090 #9400736 を販売中
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VARIAN E11000090は、VARIAN Semiconductor Equipmentが開発したイオンインプラントおよびモニターです。集積回路や複合半導体の製造に使用されています。高性能マイクロエレクトロニクスデバイスの製造において精度と柔軟性を提供するとともに、大量の高速製造のニーズに応えるよう設計されています。E11000090は、サブミクロンレベルの制御と再現性を備えたイオンビームを提供することができる高真空の2段イオンビーム加速器を備えています。さらに、ビームパラメータを監視するための幅広い診断ツールと高速データ収集ユニットを備えています。このマシンはまた、3次元空間でイオンビームを高速かつ正確に制御することを可能にする最上位のビームデフレクターを備えています。このツールは、ミリ秒の範囲で10〜15 keVの用量を提供することができます。これにより、異なる種類の材料や基材に埋め込むための正確な線量の供給が可能になります。アセットには、迅速な応答時間、低イオンビーム発散、正確なビーム制御を提供する、調整可能な高速パルスシェーピングモデルも装備されています。VARIAN E11000090は、高精度で再現性の高いビームスポット制御装置を備えており、高解像度のイメージングと均一なデバイス特性を保証します。さらに、このシステムは幅広い製造環境に統合するように設計されており、堅牢性と柔軟性の両方を提供します。さらに、このユニットは、完全なトレーサビリティと機械制御を提供する高度なマイクロプロセッサ制御、データロギング、レポート機能も備えています。このツールには、プロセスに関連するすべてのデータを格納し、どこからでもリモートアクセスできる組み込みサーバーも含まれています。全体的に、E11000090は高品質の電子デバイスの生産のための正確な線量配信と監視を提供する高度で高性能なイオンインプランターとモニターです。洗練された計装、強力な制御、優れた精度の組み合わせにより、この資産は高度なマイクロエレクトロニクス部品の製造に最適です。
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