中古 VARIAN E11000090 #9110167 を販売中

VARIAN E11000090は、高度な半導体製造プロセスに適した精密で強力なイオンドーピングを提供する高性能イオンインプラントおよびモニターです。シングルエンドの専用インプランターとモニターで、幅広いイオンで動作します。それは高性能および速度のために設計されています、最大出力電力60kW提供します。E11000090は、ソース位置を最適化するためにノズルセンターポイントを自動的に調整する液体ソースヘルプラインや、真空に直接材料を注入することができる真空トランスファーラインなどの高度な機能を備えています。また、裏面インプラント機能を備えており、ユーザーはさまざまなドーピング剤を基板のさまざまな領域に選択的に埋め込むことができます。VARIAN E11000090には、インプラントの進行状況をその場で監視するバックサイドイオン光学モニターも付属しています。E11000090は、最大10nmの分解能で最大10^15/cm2のイオンの線量を供給することができ、ビームの寸法を超微細に制御するための外部ビームスキャンシステムが装備されています。インプラントの線量と位置を正確に制御するための強力なビーム安定化機能を提供します。インプランターのビーム電流モニター機能は、ドーピングプロセス中に存在する可能性のある任意のサイズの粒子を検出して識別することもできます。VARIAN E11000090は、強力なイオン注入機能に加えて、インプラント処理を分析および監視するためのさまざまなツールも提供しています。自動アライメントシステムは、ノズルと基板の位置を自動的に調整し、インプラントのプロファイルを最適化します。また、イオンフラックスメーターを備えており、基板に吸収されたインプラントイオンの量を測定および記録します。モニターのマルチチャンネルイオンフラックス検出器は、さまざまな角度から複数のイオンフラックスを検出し、ユーザーがドーピングプロセスの最大限の均一性と精度を保証するのに役立ちます。E11000090イオン注入器とモニターは、高品質の結果を提供するための強力で信頼性の高いツールです。ドーピングプロセスの正確さと精度を保証するツールを提供し、ユーザーは比類のないパフォーマンスを達成することができます。