中古 VARIAN E11000090 #9110058 を販売中

VARIAN E11000090
ID: 9110058
Q1,Q2 Power Supply.
VARIAN E11000090は高性能イオン注入器およびモニターです。原子を制御された精密な方法で基板に堆積させ、望ましい特性を持つ材料の薄膜を作ることによって機能します。E11000090は半導体製造、冶金、および医学の研究の適用を含む広い企業で、使用することができます。VARIAN E11000090は1ミリグラムで500keVまでのイオンの線量を提供できる強力な装置です。アークエミッタを使用して基板に注入したイオンを生成する高出力イオン源を備えています。磁石の配列は、イオンを目的地に導くのに役立ちます。線量は100µC/cm2から10nC/cm2まで広い範囲で調節することができます。イオン照射プロセスは、デジタルイオンモニターによって監視され、途中のすべてのポイントでイオン化の存在と量を検出することができます。E11000090には、イオンビームの経路からオペレータを保護する回転シャッターや、安全でない動作条件が検出された場合に機械への電源を遮断するインターロックシステムなどの安全機能も内蔵されています。また、デジタルパルスジェネレータとパルスモニターを搭載し、イオン量を正確に調節します。VARIAN E11000090は、他のイオンインプラントやモニターの中でも際立っている、正確で低ノイズのデバイスです。安定した着床条件を提供し、精度を向上させ、より良い再現性のある結果を得ることができます。その高度な技術は、基板への汚染を低減するだけでなく、埋め込み時に高い収率を提供するのにも役立ちます。全体的に、E11000090は材料とデバイスプロセッサを念頭に置いて設計されており、強力で高性能なイオンインプランターとモニターを提供します。それは信頼性が高く、正確で堅牢で、無駄を最小限に抑えて改善された結果を提供します。これにより、半導体製造および冶金操作、および医療研究用途に最適です。
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