中古 VARIAN E11000090 #9067642 を販売中

VARIAN E11000090は、精密半導体加工のために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。可変エネルギーイオンビームを使用しており、異なるガスまたは蒸気源を供給し、ターゲット材料に向けることができます。E11000090は、イオンビームのエネルギーとフラックスを制御し、最高品質のインプラントを確実に達成することができます。VARIAN E11000090は、優れた精度と再現性の特性のため、インプラント精度のはるかに高いレベルを可能にするように設計されています。分解能は0。5nmで、ナノ加工用途における正確なインプラント・プロファイルの確立に最適です。高エネルギーイオンと低エネルギーイオンの両方に対応でき、最大30mAビーム電流で幅広いインプラント形状を実現します。また、高精度イオンビームエネルギー制御のための調整可能な電源や、安全な動作のためのさまざまな統合安全機能を備えています。E11000090は独自のビームモニターシステムを採用しており、高精度な着地監視を可能にしています。このシステムは、ターゲットの実際のビーム電流を測定し、インプラントのプロファイルが所望のパラメータ内に残るようにするのに役立ちます。また、可変ドウェル時間機能も備えており、ユーザーは最適な結果を得るために注入時間を調整することができます。このユニットは、内部イオン注入時のガス漏れを避けるためのフローティングチャンバーゲートや、リアルタイムでビーム電流を測定するための定電流モニタなど、セキュリティを強化するためのさまざまな統合安全機能を備えています。これらの機能は、あなたのインプラントが正常な一貫性で実行されることを確実にするのに役立ちます。VARIAN E11000090は、優れた精度と再現性を念頭に置いて設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。調整可能な電源、統合された安全機能、および高度なビームモニターシステムの範囲は、精密半導体加工アプリケーションに最適です。