中古 VARIAN E1000HP #9262462 を販売中

VARIAN E1000HPは、VARIAN Semiconductor Equipment Associatesによって製造されたイオンインプランターおよびモニターです。この装置は、トランジスタやチップなどの電子部品に荷電イオン粒子を正確に埋め込むように設計されています。これを行うために、イオン源からの荷電粒子のビームが生成され、成分に向けられます。ビームは、粒子の線量、速度、深さを調整するVARIAN E1000 HPシステムによって監視および制御されます。HPユニットE-1000、キー機能を実行するいくつかのコンポーネントで構成されています。電子カラムは、荷電粒子が生成され、増幅され、ターゲットに向けられる場所です。このカラムは、ソース、2つの加速電極、2つの減速電極の5つの電極で構成されており、ビームの制御を担当しています。真空機械は、イオンビームに干渉する可能性のあるガス分子や粒子をポンプで排出します。ポンピングツールは、コラム内の特定のレベルの低真空圧を維持することによって動作します。さらに、E1000 HPには2つの積分コンピュータがあります。電源および制御資産。電源は、粒子を加速し、減速するためのコラムに連続電流を供給します。制御モデルは、線量、エネルギー、深さなどのビームのパラメータを調整する責任があります。制御装置には、ビームの放射能を測定し、それに応じて線量を調整する放射性同位元素モニターも含まれています。VARIAN E-1000 HPシステムは、ブランケット、線形、放射状、および他のタイプのイオン注入などのさまざまなタイプの注入プロセスを実行するために使用できます。このユニットは、移植された粒子の深さを測定するためにも使用できます。また、F-2500フレームアニーリング炉やVARIAN高圧電源など、他のVARIAN機器とも互換性があります。E1000HPは、電子部品にイオン粒子を埋め込み監視するための高効率で信頼性の高い機械です。VARIAN E1000HPは、優れた制御システム、調整可能なパラメータ、および他のVARIAN機器との互換性を備えており、今日の最先端の半導体製造プロセスに最適です。