中古 VARIAN E1000 #9102189 を販売中
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VARIAN E1000は、半導体産業におけるハイエンドで高収率の製造サポートを提供するために設計された、電力効率の高い精密イオンインプラントおよびモニターです。VARIAN E-1000は、イオン源を使用して、イオンをウェーハに迅速かつ効率的に埋め込み、均一な深さと幅を持ち、所望のパフォーマンスレベルを達成するのに役立ちます。E 1000は、特定の要件に応じてカスタマイズおよび調整できるように設計されています。高速加速器システムと小さな負荷サイズで、E-1000は最大400keV回の投与率で最大20mA/cm2の注入エネルギーを提供することができます。これにより、迅速かつ正確な注入と効果的な線量監視と制御が可能になります。VARIAN E 1000の高度なビームオプティクスと制御システムは、精度と穏やかなインプラントを提供し、ビームの均一性、ウェーハの向き、インプラントの深さなど、さまざまなインプラントのパラメータを密接に制御することができます。さらに、その高度なビームマッチング回路は、優れたビームアライメントを提供するのに役立ちます。E1000は、品質管理の維持に役立つ各種モニタリングシステムを搭載しています。移植プロセスを観察するために視覚モニターが使用され、移植後のモニタリングシステムが各インプラントの線量関連パラメータを記録します。さらに、汚染に強いチャンバーは、粒子の汚染を最小限に抑えるのに役立ち、製品の欠陥につながる可能性があります。VARIAN E1000は、さまざまな安全機能を備えており、調整可能な安全設定とアラームの範囲で、完全に安全で信頼性の高い方法で動作することができます。これは、操作に注意が必要なときにユーザーが十分に認識していることを確認するのに役立ち、事故やエラーの可能性を低減します。要約すると、VARIAN E-1000は高効率で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニタであり、半導体業界に優れた製造サポートを提供します。そのハイエンドの技術と安全機能は、正確で正確なインプラントを確保するのに役立ちます。また、コストを削減し、優れた歩留まりを提供します。
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