中古 VARIAN E1000 #44234 を販売中

VARIAN E1000は、半導体やソリッドステートデバイスのドーパントイオンを修正および再配置するために使用できるイオンインプランターおよびモニターです。半導体デバイスの電気特性を変更するために、さまざまなイオンの信頼性、再現性、費用対効果の高い埋め込みを提供する完全なイオン埋め込み装置です。VARIAN E-1000は、高度な技術と厳格なプロセス制御により、高精度なインプラントを高品質な結果で実現することができます。このシステムは、大規模なビームエネルギー範囲を利用して、着床深度と投与量を制御する柔軟性を提供します。わずか数秒で100ミクロンまでの埋め込みが可能です。このユニットには非常に正確なビームモニターが装備されており、埋め込みパラメータのリアルタイム測定を可能にし、一般的なプロセス精度と再現性を保証します。E 1000は、適切に制御されたホットフィラメントと、低放射率のイオンビームを生成するための調整可能な放射電流を提供する信頼性の高い熱場放射銃を含み、これにより、熱負荷とビーム歪みを低減します。この銃は最大120 keVのビームエネルギーで動作可能で、均一で一貫したインプラント分布で動作します。このマシンには、高度なコンピュータ制御システムと強力なモーションハードウェアも含まれており、ユーザーは着床プロセスのあらゆる段階を監視および制御することができます。ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーのインターフェーズは、プロセスナビゲーションとパラメーターのナビゲーションを支援します。インプランターはまた、リアルタイムでインプラント投与量を監視することができ、オペレータの安全性がさらに向上します。E1000は複数の企業で使用するために信頼でき、優秀な性能のイオン注入器を提供します。その高度な技術とプロセス制御を通じて、ツールは、正確さ、再現性と品質のために設計されました。