中古 VARIAN E1000 #200760 を販売中

VARIAN E1000は半導体産業で使用するために設計された高精度のイオンインプランターおよびモニターです。ビームライン、イオンソース、ビーム診断機器、高解像度ビームスキャン装置を1台のコンパクトなマシンに組み合わせ、エンドツーエンドのプロセス制御を提供します。インプランターは垂直に取り付けられたイオンソースを使用してイオンビームを生成し、加速されたイオンはインラインビーム輸送システムを介してターゲットウェーハに向けられます。イオン性能は、フィールド放射イオン源、RF電源、質量分析、高分解能ビームスキャン、および高度なビーム監視機器を使用して最適化されています。VARIAN E-1000は、2段インプランターと0。5〜50keVの高解像度ビームを備えています。このユニットは、最大200mAまで高電流の様々な種類のイオンを埋め込むことができ、高度なビーム診断計測およびビームステアリング技術が装備されています。また、ハイスループットでシングルウェーハ処理を実行するように設計されており、現在の均一性とインプラント角度と線量の優れた制御を備えています。E 1000には、内蔵のフラットパネルディスプレイと直感的なユーザーインターフェイスがあり、機械構成のあらゆる側面に簡単にアクセスできます。ビームスポットサイズ検出や電流補償などの高度な信号処理アルゴリズムも利用でき、正確で正確なインプラント性能を保証します。操作中のさらなる保護のために、E-1000には安全インターロックツール、ビームストップ、および過電流保護が装備されています。VARIAN E 1000は、高度なビーム診断装置、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、および安全機能により、半導体デバイスの処理に最適です。この機械の高精度イオンインプラントとモニターは、幅広いイオン注入アプリケーションに使用でき、多種多様な半導体製造プロセスに最適なソリューションです。