中古 VARIAN E1000 #158861 を販売中
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販売された
ID: 158861
Implanter End Station Equipment Rack (cassette module)
Includes:
Granville Phillips vacuum gauge Controller 307
(2) Kollmorgen 00D12B09101-5
Varian Macro Torr Turbo Pump Turbo V-250 969-9007
(3) Varian Gate Valve E11030960
Varian Monitor 104810001
Aydin Controls Monitor 8943L
Circuit Boards:
Varian CPU 101565001
Varian CPU 101565003
Micro Memory MM-6260 AD
Graphic Strategies VGME-6408
Varian CPU COMM.
Varian Analog Control
Varian Digital Cont. 1 101529004
Varian Digital Cont. 2 101529005
Varian Servo Control
(3) Varian Servo Control E15001611
Missing parts
As-is.
VARIAN E1000は、最も複雑な半導体製造プロセスのステップの要求を満たすために構築されたハイエンドイオンインプラントおよびモニター装置です。スループット、歩留まり、品質管理を最大化する高度な機能を備えています。VARIAN E-1000イオン注入器は、半導体業界で信頼され、長期的な実績を持つ同社の実績ある技術に基づいています。これは、回路チップに使用される半導体材料の電気的および化学的特性を変更するために、イオンの高eV出力ビームを使用しています。E 1000には50kW電子ビームが搭載されており、均一で深い着床が可能です。これは、25mAから30keVまでのeV範囲で、最大200keVのビーム電流に到達することができます。E-1000のエンコーダベースのマイクロプロセッサ制御システムは、操作を簡素化し、正確なエネルギーと均一な適合性を保証します。さらに、特許取得済みの電流乗算器ユニットは、2周波数パルス電流モードとスマートセットポイントスイッチングも利用可能な一方で、高電流注入プロジェクトに最適なE1000を実現します。VARIAN E 1000の機能は、同社のProton Control™ソフトウェアによって制御されています。これは、制御パラメータ、監視、アラートおよび制御機能の包括的なセット、不純物の蓄積を検出し、ビームの安定性を確保し、コンポーネントの一貫した品質を保証するための自己診断マシンを提供します。このソフトウェアには、マスク作成、フィルム分析、ガスおよび粒子分析、およびレポートのためのモジュールも含まれています。VARIAN E1000は、耐久性のある耐食性材料で構築された信頼性と堅牢性を備え、ISO 9001:2015およびCE CE認証を取得しています。また、効率的な設計により、プロセスの迅速な切り替えが可能になり、ユーザーは常に変化する製品要件に簡単に対応できます。全体として、VARIAN E-1000は、信頼性の高い再現可能な結果を提供する高効率のイオンインプランターおよびモニタリングツールです。エンコーダベースのマイクロプロセッサ制御アセットやProton Control™ソフトウェアなどの高度な機能は、ユーザーに必要な制御と監視を提供します。一方、堅牢な構造と効率的な設計により、高速で信頼性の高い大量注入が可能です。
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