中古 VARIAN Disk for 160XP #9412732 を販売中

VARIAN Disk for 160XPは、高性能イオンインプランターおよびモニター機器です。半導体ウェーハなどの基板にイオンを正確かつ正確に埋め込むように設計されています。このシステムは、イオンエネルギー、イオン線量、ビームプロファイルとビーム電流を正確に制御および測定することができ、材料の最適な処理を可能にします。160XP用ディスクには、精密なプロセス制御と分析を可能にする高度な内部制御および監視ソフトウェアも装備されています。160XP単位のためのVARIANディスクは2つの主要な部品から成っています；ディスクと160XPイオンソース。ディスクは、機械のイオンビーム配達および監視コンポーネントを収容する真空絶縁非磁性チャンバーです。160XPイオン源は電子ビーム制御源であり、高電流密度でイオンを正確にエネルギー制御するために特別に設計されています。信頼性が高く、メンテナンスコストも低くなっています。160XP用ディスクは、さまざまな方法でイオンビームの精密制御を提供します。移植されるイオンのエネルギーとその到着時間を制御し、調整することができます。VARIAN Disk for 160XPのエネルギー範囲は200keVでピークに達するため、さまざまなウェーハ材料の加工に最適です。さらに、ディスクはイオンビームを正確に配置してスキャンし、ウェーハ上に所望のインプラント・プロファイルを生成することができます。160XPイオン源は、他のソースよりも高い電流密度を生成することができ、より速い着床カバレッジを可能にします。これにより、基板を埋め込む際の生産性が向上します。また、イオン源はバックグラウンドの中性粒子を最小限に抑え、汚染率を低減し、イオンのよりクリーンな蒸着を可能にするように設計されています。160XP用ディスクは、イオンビームの正確かつ正確な制御を提供するように設計された強力なイオンインプランターおよびモニタツールです。洗練された内部制御と監視ソフトウェアにより、正確なプロセス制御と分析が可能です。VARIAN Disk for 160XPは、電流密度の高いさまざまなウェーハ材料を埋め込むための理想的なツールです。