中古 VARIAN CF5 #9210374 を販売中

VARIAN CF5は、VARIANグループの一部であるVARIAN Semiconductor Equipmentによって構築されたイオンインプランターおよびモニターです。VARIAN CF-5は、高度なイオン注入処理をサポートする包括的なツールと機能を提供します。CF 5は、イオン注入のための高エネルギー、高ビーム電流、および高精度の電子衝撃源を備えています。高性能コントローラ、強力なエネルギー指向のウインドインプラント動作環境、さまざまな材料を処理するように設計された堅牢なビームラインを備えています。さらに、CF5は、ユーザーがさまざまなインプラント要件に対処するための結果を達成することができる高度なプロセス制御機能を提供しています。CF-5は、インプラントのエネルギーと1-500uAビーム電流を60-150KVするだけでなく、最適な品質のインプラントを作成するための幅広いソースのビームチューニング機能を備えています。さらに、VARIAN CF 5は0。001-1 mTorrの間の圧力で、非常に精密な線量制御機能を提供します。VARIAN CF5は、高精度で高精度な圧力対用量校正システムと相まって、インプラントのバッチを非常に安定して生成することができます。さらに、VARIAN CF-5の均一性モードは、均一な用量、エネルギー、ビーム強度を維持しながら、均一な用量とエネルギー分布を提供するように設計されています。このモジュールはまた、移植を厳密に制御するための非常に正確な位置決めとアライメントパラメータを達成することができます。CF 5の高度なイオンモニターは、ノズルサイズ、ノズルとサンプル間の距離、および注入されたエネルギーなどのプロセスパラメータをリアルタイムで監視しながら、最適な結果を継続的に調整するように設計されています。モニターには、直感的なグラフィカルインターフェイス、包括的なシステムロギング機能、追跡可能なデータが搭載されており、可能な限り正確な監視が可能です。要約すると、CF5は高度で高品質なイオン注入器およびモニターであり、ユーザーにイオン注入プロセスのための包括的な選択肢を提供するとともに、高度で高精度な圧力-線量キャリブレーションと相まって、高精度な線量制御機能を提供するように設計されています。さらに、CF-5は、リアルタイムプロセス監視用の高度なイオンモニターと、可能な限り正確な結果を保証するための追跡可能なデータシステムも備えています。