中古 VARIAN CF5 #293645615 を販売中

VARIAN CF5は、幅広いプロセスエンジニアリングアプリケーションの要件を満たすように設計された強力な多目的イオンインプラントおよびモニタです。VARIAN CF-5は、様々な種類のイオン（陽子、中性子、周期表のイオンを含む）を半導体材料に埋め込むことができます。また、注入プロセスをリアルタイムで監視するために使用することができ、特定のプロセスごとに設定されたパラメータを正確に制御できます。CF 5は電子銃（注入のためのイオンを発生させるために使用される）、イオン源、イオンビーム室およびモニターアセンブリから成っています。その電子銃は、電圧、ビーム電流、線量率、ビーム電流範囲など、さまざまな調整可能なパラメータを備えており、放出されるイオンの種とエネルギーを制御するために使用することができます。イオン源は半導体ベースの材料で、異なる種やエネルギーのイオンを生成することができます。イオンビームチャンバーは、イオンビームを正確に制御することができます、モニターアセンブリは、視覚的な表示を提供しながら、だけでなく、着床プロセスのリアルタイム測定。CF5インプランターは、イオンをほとんど損失のない基板に埋め込むことができ、精密エンジニアリング用途に最適です。モニターアセンブリは、着床プロセスをリアルタイムで観察するために使用することができ、モニターアセンブリは各段階の着床プロセスの概要を示します。VARIAN CF 5は、移植プロセスを強化するだけでなく、移植される材料への損傷のリスクを排除するために使用できるさまざまな温度制御オプションも提供しています。例えば、温度制御されたオーブンを使用して、プロセス全体の着床のための正しい温度を維持することができます。CF-5は、移植プロセスを管理し、監視するための強力なオンボードコンピュータだけでなく、高度なソフトウェアも装備されています。オンボードコンピュータはイオンビームチャンバーからデータを収集して処理するために使用され、ソフトウェアは着床プロセス全体を制御するために使用されます。VARIAN CF5は非常に信頼性が高く、堅牢で汎用性に優れています。それはいろいろな精密工学の適用に使用することができ、産業および研究の設定で使用することができます。イオン種を半導体材料に正確かつ効率的に埋め込むことができます。