中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta #9292131 を販売中

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALTS VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALIES VIIStaは、半導体デバイス製造のための高精度イオンビーム配信を提供するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニター。ビームの強度と配置を顕著な精度で制御しながら、ビームエネルギーの広い範囲、その結果、イオン種の多様性を提供することができます。ユニットは、イオンビーム加速およびビーム成形部品、ビームスキャン装置、エンドステーションなど、いくつかのモジュールで構成されています。加速システムは、イオンビームエネルギー制御のための軸場磁気共鳴設計を利用しています。この設計は、500keVまでのイオンビームを生成することができます。このユニットの電源には、正確なビームエネルギー規制のための高速パルス検出回路と制御回路も含まれています。さらに、マシンは、ビームがアプリケーションに適していることを確認するために、いくつかのビーム品質モニターが含まれています。イオンビームスキャンツールは、高度な高速ステアリングアセットに基づいており、リサージュのようなパターンを生成してビームをウェーハに正確に導きます。このモデルは、最大0。02ミクロンの解像度で毎秒256の領域を生成することができ、コンピュータ制御の高速機器が含まれています。イオンビーム蒸気器はまた優秀な制御のための非常に小さい円パターン目標を作り出すことができる。エンドステーションは、プロセスモニターを内蔵した完全自動ウェハハンドリングユニットです。このユニットには、ウェーハとイオンビームの位置と向きを追跡し、インプラント工程を監視するためのセンサーが複数搭載されています。また、オンボードソフトウェアを使用してデバイスの追跡と分析を行います。さらに、このユニットには、さまざまな基板タイプのための汎用性の高いウェーハチャッキングシステムと、インプラント深度を操作するための調整可能なチャンバーが含まれています。最後に、このユニットは、コンピュータネットワークに統合するための双方向の通信インターフェースを備えています。要約すると、AMAT VIIStaは、精密なビームエネルギーを提供し、顕著な精度でビーム配置を正確に制御することができる高度なイオンインプラントおよびモニターです。イオンビーム加速ユニットとビームスキャン制御から、プロセス監視アルゴリズムを統合したエンドステーションまで、その多くのコンポーネントは、これをあらゆる半導体デバイス製造ニーズに最適です。