中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HE #293597134 を販売中

VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HE
ID: 293597134
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Medium current ion implanter, 12" 2008 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIIStaユーザーが正確かつ一貫してエリアに集中的なエネルギーを提供できるように設計されたイオンインプラントおよびモニターです。コンパクトでモジュラー型のハードウェアと新しいソフトウェアと制御機能を組み合わせ、困難な高エネルギーアプリケーションを処理する機器を作成します。信頼性が高く、安定した一貫した排出率で一貫して正確な結果を出すように設計されています。このシステムには、フロー誘導型イオンビーム角モジュールを備えた統一チャンバー設計が組み込まれています。これにより、ユーザーは望ましくない意図しない結果を生み出すことなく、イオンビームのエネルギーを所望の領域に集中させることができます。AMAT VIIStaは、ユーザーがビーム強度と電流を微調整することを可能にするイオンビームインピーダンスリファレンスユニットを装備しています。これにより、イオンビームパスが均質で一貫しており、着床プロセス全体にわたって一定のビーム電流が保証されます。このマシンには、包括的な監視およびプロセス制御ソフトウェアスイートも含まれています。この洗練されたソフトウェアパッケージは、高度な埋め込みプロセスの埋め込みパラメータを設定、制御、監視するプロセスを自動化します。デバイスパラメータを自動的に調整してプロセスを微調整する高度な制御オプションが含まれています。ソフトウェアはまた、プロセスから直接データをキャプチャして保存し、インプラントが進行中にライブモニタリングを有効にすることができます。VARIAN VIIStaまた、高エネルギーチャンバーウィンドウが付属しています。この特別に設計されたウィンドウは、優れたビーム伝送を提供し、ツール全体のスループットを向上させます。また、粉塵やその他の環境上の危険に対してより耐性のある環境にそれらを収容することにより、チャンバー内のコンポーネントに追加の保護を提供します。ハードウェアとソフトウェアの機能に加えて、最適なパフォーマンスを確保するためのさまざまなサポートサービスを提供しています。これには、カスタマーサポートとトレーニング資料、および延長保証が含まれます。このモデルはまた、埋め込みプロセスで一般的に使用される金属、半導体材料、およびその他の材料を含むさまざまなプロセス材料で動作するように認定されています。全体として、VIISta HEは強力で信頼性の高いイオン注入器であり、高エネルギーのアプリケーションに挑戦するためのモニターです。それは優秀な性能のために設計され、正確な、一貫した、安全な操作を保障するさまざまな特徴を提供します。
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