中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293766493 を販売中

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HCは高精度、高容量イオン注入器であり、高用量イオンを高用量で管理するように設計されたモニターです。イオンビームエネルギーは最大35 MeVまで加速されます。このマシンは、多年の集積回路の製造のために正確に制御された用量で広い領域に正確にイオンを埋め込むことを可能にする幅広い技術、機能、およびオプションを備えています。装置は高度に構成可能であり、さまざまな方法で標的イオン注入を行うようにプログラムすることができます。イオンビームエネルギーを正確に制御するための複数のエネルギー設定を備えた多段可変エネルギー加速システムを備えています。また、デジタルスキャンコントローラを搭載しており、目的の埋め込み形状をシミュレートおよび検証するための自動スキャン機能を備えています。マルチメイコントロールマシンは、シミュレーションパラメータの正確な制御と高用量の均一性のためのイオンビームの正確なアライメントを可能にします。AMAT VIISta HCはまた、スパッタリングを最小限に抑え、イオン注入効率を最大化するために、大容量の多段ガスパージングツールを備えています。このアセットは、イオンビームの組成を大幅に制御し、一定のイオン種の組成を維持するのに役立ちます。VARIAN VIISta HCは、使用中のイオンビームからオペレータを保護するための安全機能も備えています。安全機能には、埋め込み中のビームパスをカバーする安全シャッター、迷路放射を低減するフォースフィールド、緊急シャットダウンモデルなどがあります。VIISta HCは、線量、ビーム電流、陽極電流、ビーム幅、ガス圧力、ガス組成など、すべてのイオン注入パラメータを監視できます。モニタリング装置は、対象インプラントの組成と基板への影響に関するオペレータへのリアルタイムのフィードバックを提供します。この情報を使用して、イオン注入プロセスを検証および最適化することができます。応用材料VIISta HCには、イオンビーム加速によって引き起こされる機械的振動を最小限に抑えるために、複数の減衰機構が装備されています。機械は長期操作のために設計され、年の間容易に作動させることができます。全体として、VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HCは、高精度、高容量のインプラントを提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。大容量、多段ガスパージ、精密なデジタルスキャン、安全シャッターなどの機能とモニタリング、減衰などの機能を組み合わせることで、高用量で優れた着床パラメータと均一性を提供します。その包括的な安全機能はまた、オペレータのためのより安全なツールになります。AMAT VIISta HCは、ハイエンド集積回路の製造に最適です。