中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 #9223170 を販売中
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ID: 9223170
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
High energy ion implanters, 12"
(4) Cassettes / (4) FOUP Positions
ASYST 300 OHT Transport, 12"
All Cables included
GEM / SECS Interface
Mid current classic: 810
Bernas source
Dual vaporizer
(7) Programmable tilt angles
Tilter head revision: Type C
EDWARDS iQDP80 Dry pump
EDWARDS iQDP80/500 Dry pump
Dose range: 1e^11 ~ 1e^13
Turbo's:
Dimmer magnet
Source
End station
Cryo's:
(3) Process chambers
Scan chamber
Process gasses:
Gas 1: HP
Gas 2: SDS
Gas 3: SDS
Gas 4: SDS
Does not include:
Chiller
Dry pumps
Cryo compressors
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 270 kV
2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810は、高度なイオンインプラントおよびモニターで、幅広い処理ニーズに対応するパフォーマンスと正確な制御を提供するために特別に設計されています。この装置は高分解能で高性能な電子乗算器を内蔵しており、インプラントのエネルギーをリアルタイムで測定し、インプラントのプロセスごとに均一性と精度を確保することができます。AMAT VIISta 810は、特許取得済みのエンドステーション制御システム（ESCS）も使用しています。これにより、インプラントおよびモニタパラメータを任意のプロセスで正確かつ一貫した制御が可能になり、プリセットパラメータのみが使用されるようになります。さらに、VARIAN VIISta 810は、移植プロセスを監視するための統合ユニットを提供します。内蔵の診断機により、オペレータはインプラントのプロセスを継続的に監視し、必要に応じて必要な調整を行うことができます。この監視ツールは、陽極電流とインプラントエネルギーの校正を可能にします。APPLIED MATERIALTS VIISta 810のヒステリシスモニタにより、サンプル環境の制御も向上します。この自動化された資産は、インプラントのポイントオブインプラントのステップでインプラントのエネルギーと線量を監視し、プリセットパラメータからの重要な偏差に迅速に対応できるようにします。VIISta 810は、さまざまなアクセシビリティオプションも提供しています。オプションのリモートコンソールを使用すると、ユーザーは別の場所からインプラント処理を監視および制御できます。さらに、オンライン接続用のイーサネットポートがあるため、複数のユーザーが異なるコンピュータからインプラント処理を監視できます。このモデルには、安全機能も内蔵されています。安全インターロックは、電流過負荷と安全でない電圧を検出し、危険な動作を防止します。さらに、VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810は、敷地内の高い安全性を確保するために、すべての最新の基準を満たしています。結論として、AMAT VIISta 810は、パフォーマンスと正確な制御を向上させるために特別に設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。直感的な制御と組み込みの安全機能により、幅広い処理ニーズに最適です。
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