中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292219 を販売中
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販売された
ID: 9292219
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source head
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1 (Removed)
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4 (Removed)
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly, P/N: E11084141
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens assembly and ES decel
Process chamber module:
Angle cup, P/N: E11127951
Roplat kit
BROOKS AUTOMATION 354019-TD-T Vacuum gauge
(3) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) GENESIS ICP 320 LQ Pumps
(2) GENESIS HC80 Cryo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100N Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
Remote PD CVCF assy
Remote rack
Missing parts:
Controller mass flow, 0-3 SCCM, PH3, 4RA P/N: E23000350
Controller mass flow, N2 calibration 5 SCCM P/N: E23000101
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Advanced platen, P/N: E11368067
Dual PFG power supply controller assembly, P/N: E11092090
Quad lens, P/N: E11289020.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HPは、研究および製造用に設計された高性能コンピュータ制御イオンインプラントおよびモニターです。半導体イオン注入など、さまざまな加工用途に対応する信頼性の高い機器です。AMAT VIISta 80HPモデルは、すべての標準的な埋め込みタスクを処理できます。それは汎用性があり、平面または垂直またはドーム彫刻することができます。それは異なった形およびサイズのそして高精度と粒子を扱うことができます。高解像度ディスプレイにより、イオンビームを正確にプログラム、追跡、監視できます。VARIAN VIISTA 80 HPは、ユーザーフレンドリーで簡単にユーザーによってプログラムすることができる強力なビーム制御システムを備えています。3種類のビーム操作により、処理アプリケーションの特定のニーズに合わせてビームを調整できます。ビームは偏向され、焦点を合わせることができ、ビーム力は必要に応じて調節することができます。ビームターンオフ装置（BTO）を含む高精度のビーム監視および制御装置は、ターゲット粒子の正確かつ均一な埋め込みを保証します。VARIAN VIISta 80HPはまた、効果的でクリーンな埋め込みのための高真空条件を可能にするクローズドループのコンピュータ制御ポンピングツールを備えています。温度制御アセットは、最適な性能を得るために、注入チャンバー内の一貫した温度を保証します。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HPは、優れた精度と制御でクリーンで正確なイオン注入を提供します。そのアクティブエリアモニターは、ビームの位置と強度に関するリアルタイム情報を提供します。また、ウエハの表面プロファイルに関する正確な情報も提供しています。さらに、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、プログラム可能なレシピ、データの保存と検索などの機能もあります。VIISTA 80 HPは、移植ベースの処理のための信頼性の高い強力なモデルです。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと強化されたビーム操作により、優れた制御と精度を提供します。その多くの機能で、それは研究や生産アプリケーションに適しています。
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