中古 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292218 を販売中
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販売された
ID: 9292218
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module: Roplat kit
(4) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
EDWARD SCU-1600 Turbo pump controller
EDWARD SCU-1500 Turbo pump controller
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pump
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
CVCF PD, P/N: E19009490
Remote rack
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Angle cup assy, P/N: E11127951
Setup cup PCB, P/N: E11084150
TMC A2 Board, P/N: E11559860
TMC A4 Board, P/N: E12013370
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
ESC, P/N: E11368067
Source isolation controller, P/N: E11106222
Twist motor, P/N: E11130962
Loadlock vent pressure regulator, P/N: E33000355
LP2 ST32 Board P/N: 013501-167-27
Buffer robot controller fuse.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALTS VIISta 80HPは、半導体チップの製造に使用されるイオンインプラントおよびモニターです。このデバイスは、ウェーハの表面にイオンを埋め込み、電気的特性を変更するために使用されます。AMAT VIISta 80HPは、幅広い材料と条件でイオンを正確かつ一貫して埋め込むことができるハイエンドインプラントです。このデバイスは、幅広いパフォーマンス機能を備えています。ホウ素、リン、ヒ素、アンチモンを他のイオンと一緒に埋め込むことができ、100キロエレクトロンの精巣までのエネルギーで動作することができます。また、+-1％の均一性、0。1％の精度で0。01％まで低下し、より大きなインプラント領域では1 nmよりも解像度が優れています。このデバイスのスループットは1時間あたり最大8ウェーハであり、毎秒最大800万イオンを埋め込むことができます。さらに、VARIAN VIISTA 80 HPには、包括的な監視および制御システムがあります。リアルタイムエネルギーリードアウトデバイスを搭載し、必要に応じて電圧と電流のランピングを監視および調整できます。また、リアルタイムのダイナミックレンジ調整を備えており、移植されたイオンが所望の範囲内にとどまることを保証します。VIISta 80HPのパフォーマンスと監視は、特定のアプリケーションに応じて調整することもできます。トリプルフィルター管理システムは、所望のインプラント用量を維持しながらパフォーマンスを最適化し、欠陥を最小限に抑えるように設計されています。3つの統合チャネルを組み合わせて、複数のパラメータを正確に制御します。VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALIES VIISTA 80 HPはまた、水と排気の要件が低いため、廃棄物と排出量を削減するように設計されています。装置は自己監視および自己訂正操作が可能で、単一のプラグおよび電源コンセントから作動できます。これにより、生産ラインにとってエネルギー効率の良い選択肢となります。全体として、VARIAN VIISta 80HPは強力で信頼性の高いイオン注入装置です。このデバイスは精密で一貫した操作が可能であり、エネルギー効率は生産ラインのアプリケーションに最適です。包括的な監視および制御システムにより、AMAT VIISTA 80 HPはインプラントが正確かつ一貫して実行されることを保証します。
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